Glaswafer aus Borofloat33^®-Glas werden in der Halbleiter- und MEMS-Industrie häufig für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt.

Diese Wafer können zur Verkapselung von MEMS-Bauteilen, beispielsweise für Sensoren unter Verwendung der Wafer-Level-Packaging-Technologie (WLP), oder als Glasrohlinge für die Halbleiterfertigung und die Optik verwendet werden.

Unsere Standardprodukte weisen einen an Silizium angepassten Wärmeausdehnungs­koeffizienten (CTE) auf, was sie zum perfekten Substrat für das Anodic Bonding macht. Das Glas zeichnet sich durch eine gute Transmis­sion über ein breites Spektrum sowie eine hohe chemische Beständigkeit und mechanische Festigkeit aus. Darüber hinaus können diese Wafer in Hochtemperaturprozessen eingesetzt werden.

Standard- oder massgefertigte Wafer?

Wafer aus Quarz in Halbleiterqualität (amorph) werden in der Halbleiterfertigung, in Solar- und Industrieanwendungen sowie für Dünnschicht­beschich­tungen verwendet. Das Hauptmerk­mal ist die hohe chemische Reinheit, die es zu einem CMOS-kompatiblen Material macht, verbunden mit hervorragenden mechanischen und optischen Eigenschaften.

Quarz in Halbleiterqualität zeichnet sich durch einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizi­enten sowie einen geringen OH-Gehalt aus, was eine Verarbeitung bei hohen Temperaturen und eine gute Durchlässigkeit im IR- und UV-Bereich ermöglicht. Dieses Material ist erstklas­sig, wenn es um hochwertige Quarzwafer zu angemessenen Preisen geht.

Standard- oder massgefertigte Wafer?

Siliziumwafer sind das Standard-Substratmate­rial für die Herstellung von Halbleitern, MEMS und Mikrosystemen. PLANOPTIK liefert hoch­wertige monokristalline Siliziumwafer, die ge­mäß den branchenüblichen Spezifikationen gefertigt werden. Verschiedene Durchmesser sind ab Lager lieferbar.

Die Wafer zeichnen sich durch hervorragende Maßgenauigkeit, ausgezeichnete Oberflächen­qualität und gleichbleibende Materialeigen­schaf­ten aus und eignen sich daher für an­spruchsvolle Prozessanwendungen in For­schung, Entwicklung und industrieller Ferti­gung.

In Kombination mit dem umfassenden Ange­bot an Glaswafern von PLANOPTIK ermögli­chen Siliziumwafer den Kunden, passende Substratmaterialien für das Waferbonden, die MEMS-Fertigung, die Photonik, die Mikrofluidik und fortschrittliche Verpackungstechniken aus einer Hand zu beziehen.

Standard- oder massgefertigte Wafer?

Wafer Universe bietet ein breites Sortiment an hochwertigen Wafern aus Glas, Quarz und Silizium – ab Lager lieferbar. In unserem Shop finden Sie eine große Auswahl an Wafern und Trägern in verschiedenen Größen, Durchmes­sern und Stärken sowie aus unterschiedlichen Materialien.

Wir bieten Borosilikat-Wafer (mit regulärer oder verbesserter MDF-Polierung), alkalifreie Glas­wafer, Quarzwafer (Quarz in Halbleiterqualität) und Siliziumwafer an.