{"id":1880,"date":"2026-03-08T14:32:53","date_gmt":"2026-03-08T13:32:53","guid":{"rendered":"https:\/\/planoptik.eu\/?page_id=1880"},"modified":"2026-10-18T17:37:18","modified_gmt":"2026-10-18T15:37:18","slug":"technologien","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/www.planoptik.com\/de\/technologien\/","title":{"rendered":"PLANOPTIK AG | TECHNOLOGIEN"},"content":{"rendered":"

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\u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

Technologien<\/h1><\/div>

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Technologien f\u00fcr funktionale Glaswafer und Mikrosysteme<\/h3><\/div><\/div><\/div>

PLANOPTIK vereint ein breites Spektrum an Technologien auf Wafer- und Panel-Ebene f\u00fcr die Entwicklung und Serienfertigung hochpr\u00e4ziser Komponenten auf Glasbasis.<\/p>\n

Unsere Kompetenzen gehen weit \u00fcber die Herstellung von Pr\u00e4zisions\u00adsubstraten hinaus. Wir strukturieren Glas, bringen elektrische und funk­tionale Schichten auf, verbinden verschiedene Materialien durch Kleben und integrieren mehrere Prozessschritte in komplette Ferti\u00adgungsabl\u00e4ufe.<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

Auf diese Weise k\u00f6nnen wir Substrate aus Glas, Quarz und Silizium in funktionale Komponenten f\u00fcr Semiconductor Packaging, MEMS, Mikrofluidik und andere Mikrosystemanwendungen verwandeln.<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>

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Unabh\u00e4ngige Materialauswahl<\/h1><\/div>

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PLANOPTIK ist unabh\u00e4ngig von den gro\u00dfen Glasherstellern. Dadurch k\u00f6nnen wir das Material ausw\u00e4hlen, das den technischen Anforderungen der jeweiligen Anwendung am besten entspricht, ohne an einen bestimm­ten Hersteller oder ein bestimmtes Materialportfolio gebunden zu sein.<\/p>\n

Je nach Anwendung verarbeiten wir technisches und optisches Glas, hochreines Quarzglas sowie andere geeignete Materialien von f\u00fchrenden Herstellern aus den USA, Europa und Asien.<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

Dar\u00fcber hinaus halten wir eine breite Palette h\u00e4ufig verwendeter Werk­stoffe auf Lager, teilweise in betr\u00e4chtlichen Mengen. Dies erm\u00f6glicht uns einen schnellen Produktionsstart und verk\u00fcrzt die Lieferzeiten f\u00fcr viele Standardwerkstoffe.<\/p>\n

Unsere Werkstoffunabh\u00e4ngigkeit in Verbindung mit einem gut sortierten Lagerbestand erm\u00f6glicht es uns, f\u00fcr jede Anwendung den am besten geeigneten Werkstoff auszuw\u00e4hlen und dabei ein hohes Ma\u00df an Flexibili­t\u00e4t sowie kurze Reaktionszeiten zu gew\u00e4hrleisten.<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>

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Shaping<\/h1><\/div>

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Glas zu Wafern und Panels verarbeiten<\/h3><\/div><\/div><\/div>
\"Shaping\"<\/span><\/div><\/div><\/div>

Die Herstellung von Wafern und Panels beginnt mit dem Rohmaterial. Mithilfe pr\u00e4ziser Verfahren wird das Material in Wafer oder Panels mit unterschiedlichen Geometrien zugeschnitten. Zu diesen Verfahren geh\u00f6ren beispielsweise:<\/p>\n<\/div>

\u2013 DIAMOND CUTTING
\n\u2013 WATER-JET CUTTING
\n\u2013 WIRE SAWING
\n\u2013 EDGE GRINDING<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>

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Oberfl\u00e4chenbehandlung und Veredelung<\/h1><\/div>

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Von Substraten hin zu Produkten mit hochpr\u00e4zisen Oberfl\u00e4chen<\/h3><\/div><\/div><\/div>

Anschlie\u00dfend werden verschiedene Ma\u00dfnahmen ergriffen, um die vom Kunden geforderte Qualit\u00e4t und Ma\u00dfgenauigkeit zu erreichen. Hierf\u00fcr k\u00f6nnten folgende Verfahren zum Einsatz kommen:<\/p>\n<\/div>

\u2013 SCHLEIFEN
\n\u2013 POLIEREN<\/p>\n<\/div>

– Normales Polieren
\n– MDF-Polieren<\/p>\n<\/div>

Unsere Verfahren erm\u00f6glichen es uns, Oberfl\u00e4chen von hoher Qualit\u00e4t zu erzielen mit<\/p>\n<\/div>

    \n
  • einer Dicke von bis zu 200 \u03bcm<\/li>\n
  • einem TTV ab 1 \u00b5m (abh\u00e4ngig von Waferdicke und -durchmesser)<\/li>\n
  • einer Oberfl\u00e4chenrauheit von \u2264 0,5 nm (Ra)<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/div><\/div>
    \"MDF<\/span><\/div>

    Unser MDF-Polierverfahren erm\u00f6glicht einen sauberen \u00c4tzprozess<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>

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    Patterning<\/h1><\/div>

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    Fortschrittliche Strukturierung auf hochpr\u00e4zisen Oberfl\u00e4chen<\/h3><\/div><\/div><\/div>

    Die Glasstrukturierung erm\u00f6glicht die Erzeugung funktionaler Merkmale und pr\u00e4ziser Geometrien f\u00fcr eine Vielzahl von Hightech-Anwendungen. Je nach erforderlicher Strukturgr\u00f6\u00dfe, Geometrie, Tiefe und Oberfl\u00e4chen\u00adqualit\u00e4t kommen unterschiedliche Strukturierungstechnologien zum Einsatz.<\/p>\n

    Dazu geh\u00f6ren beispielsweise das Sandstrahlen f\u00fcr gro\u00dffl\u00e4chige Struktu\u00adren und Hohlr\u00e4ume, die Laserbearbeitung f\u00fcr eine \u00e4u\u00dferst flexible und pr\u00e4zise Materialbearbeitung, das chemische \u00c4tzen f\u00fcr glatte und exakte Mikrostrukturen sowie das \u00c4tzen per Laser f\u00fcr komplexe dreidimensio\u00adnale Strukturen mit hoher Pr\u00e4zision.<\/p>\n

    Die Wahl des geeigneten Strukturierungsverfahrens ist entscheidend, um die gew\u00fcnschte Leistungsf\u00e4higkeit, Genauigkeit und Kosteneffizienz des fertigen Bauteils zu erreichen. Beispiele f\u00fcr solche Modifikationen k\u00f6nnten sein:<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    <\/div><\/div><\/div>
    \"Through<\/span><\/div>

    THROUGH-GLASS-VIAS<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Blind<\/span><\/div>

    Blind holes<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Cavities\"<\/span><\/div>

    Cavities<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Channels\"<\/span><\/div>

    Channels<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Markings\"<\/span><\/div>

    Markings<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    Beispiele f\u00fcr Through-Glass-Vias<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Hole<\/span><\/div>

    Lochdurchmesser >= 30 \u00b5m<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Tapered<\/span><\/div>

    Konisch zulaufendes TGV<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Nearly<\/span><\/div>

    Ann\u00e4hernd gerades TGV<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Pitch<\/span><\/div>

    Teilung mit zweifachem Lochdurchmessers<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>

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    Weiterf\u00fchrende Verarbeitung<\/h1><\/div>

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    <\/div>

    \u2013<\/p>\n<\/div>

    \u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

    Funktionalit\u00e4t durch fortschrittliche Prozessschritte erm\u00f6glichen<\/h3><\/div>

    Im Anschluss an den Strukturierungsprozess sind h\u00e4ufig weitere Fertigungs\u00adschritte erforderlich, um das Substrat in ein voll funktionsf\u00e4higes Bauteil umzuwandeln. Je nach Anwendung k\u00f6nnen diese Prozesse die Metallisie\u00adrung zur Herstellung elektrischer Leitf\u00e4higkeit, Beschichtungen zur Verbes\u00adse\u00adrung optischer, mechanischer oder chemischer Eigenschaften, das Ver\u00adkleben zur Integration verschiedener Materialien oder Komponenten sowie das Zerschneiden zur Trennung einzelner Bauelemente umfassen.<\/p>\n

    Die Auswahl und Kombination dieser Verfahren wird auf die spezifischen Produktanforderungen zugeschnitten, um optimale Funktionalit\u00e4t, Zuver\u00adl\u00e4ssigkeit und Leistung in anspruchsvollen Hightech-Anwendungen zu gew\u00e4hrleisten.<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Glass<\/span><\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>

    Metallisierung<\/p>\n

    Vollfl\u00e4chige Kupfer-Metallisierung
    \nmit der CU-Liner-Strategie<\/p>\n<\/div>

      \n
    • Substratmaterial: Borofloat33, Quarz<\/li>\n
    • Waferdurchmesser: bis zu 300 mm<\/li>\n
    • Plattenabmessungen: bis zu 300 x 300 mm<\/li>\n
    • Plattenabmessungen: bis zu 300 x 300 mm<\/li>\n
    • Substratdicke: 300 \u2013 1000 \u03bcm<\/li>\n
    • Lochdurchmesser: \u226575 \u03bcm<\/li>\n
    • Abstand: das Doppelte des Lochdurchmessers<\/li>\n
    • Kupferdicke: 2..10 \u03bcm<\/li>\n<\/ul>\n<\/div>

      Umverteilungsschicht<\/p>\n<\/div>

        \n
      • Ma\u00dfgeschneiderte RDL bis zu 200 mm Durchmesser<\/li>\n
      • Leitungsbreite \/ Abstand: 50 \u00b5m \/ 50 \u00b5m<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/div><\/div>
        \"Metallisation\"<\/span><\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>
        \"Lithography\"<\/span><\/div>

        Lithografie<\/p>\n<\/div>

          \n
        • Fotolack<\/li>\n
        • L\u00f6tmaske<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/div><\/div>
          \"Various<\/span><\/div>

          Verschiedene Beschichtungen<\/p>\n<\/div>

            \n
          • ITO<\/li>\n
          • Titan<\/li>\n
          • Kupfer<\/li>\n
          • Aluminium<\/li>\n
          • Chrom<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/div><\/div>
            \"Bonding<\/span><\/div>

            Bonding<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

            \"Dicing\"<\/span><\/div>

            Zerteilen (Dicing)<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

            \"Lithography\"<\/span><\/div>

            Lithografie<\/p>\n<\/div>

              \n
            • Fotolack<\/li>\n
            • L\u00f6tmaske<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/div><\/div>
              \"Various<\/span><\/div>

              Verschiedene Beschichtungen<\/p>\n<\/div>

                \n
              • ITO<\/li>\n
              • Titan<\/li>\n
              • Kupfer<\/li>\n
              • Aluminium<\/li>\n
              • Chrom<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

                Team up with PLANOPTIK<\/h2><\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n<\/div><\/div>

                \"Team<\/span><\/div><\/div><\/div>
                \"Team<\/span><\/div><\/div><\/div>
                <\/div><\/div><\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div>

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                Ma\u00dfgeschneidert entwickelt<\/h4><\/div>

                Entwickeln Sie ein neues Mikrosystem? Kom\u00adbinie\u00adren Sie Mikroelektronik, Mikromechanik oder Mikrofluidik, um ein neues Produkt zu schaffen? Entwickeln Sie einen Sensor, ein elektronisches Ger\u00e4t, ein fluidisches System oder etwas, das es bisher noch nicht gab? Arbeiten Sie mit PLANOPTIK zusammen.<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

                Zuverl\u00e4ssige Partnerschaft<\/h4><\/div>

                Bei uns finden Sie einen Partner, der gemein\u00adsam mit Ihnen elektronische, mechanische, optische, chemische oder biologische Mikro\u00adkomponenten entwickelt und sich mit Werk\u00adstoffen wie Glas, Sili\u00adzium und Kupfer bestens auskennt.<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

                \"Team<\/span><\/div><\/div><\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

                Gemeinsam bis zur Produktion<\/h4><\/div>

                PLANOPTIK fertigt die gemeinsam entwickel\u00adten Mikrokomponenten und Elemente zudem in gro\u00dfen St\u00fcckzahlen unter Einsatz moderns\u00adter waferbasierter Fertigungsverfahren.<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>\n<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"parent":0,"menu_order":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"100-width.php","meta":{"footnotes":""},"class_list":["post-1880","page","type-page","status-publish","hentry"],"yoast_head":"\nPLANOPTIK AG | TECHNOLOGIEN - PLANOPTIK AG<\/title>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/www.planoptik.com\/de\/technologien\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"de_DE\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"PLANOPTIK AG | TECHNOLOGIEN\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/www.planoptik.com\/de\/technologien\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"PLANOPTIK AG\" \/>\n<meta property=\"article:publisher\" content=\"https:\/\/www.facebook.com\/Plan.Optik.AG\/\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2026-10-18T15:37:18+00:00\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"Gesch\u00e4tzte Lesezeit\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"9\u00a0Minuten\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\\\/\\\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.planoptik.com\\\/de\\\/technologien\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.planoptik.com\\\/de\\\/technologien\\\/\",\"name\":\"PLANOPTIK AG | TECHNOLOGIEN - 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