{"id":1880,"date":"2026-03-08T14:32:53","date_gmt":"2026-03-08T13:32:53","guid":{"rendered":"https:\/\/planoptik.eu\/?page_id=1880"},"modified":"2026-07-21T11:05:31","modified_gmt":"2026-07-21T09:05:31","slug":"technologien","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/www.planoptik.com\/de\/technologien\/","title":{"rendered":"PLANOPTIK AG | TECHNOLOGIEN"},"content":{"rendered":"

\u2013<\/p>\n<\/div>

\u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

WIE AUS GLAS MIKROSYSTEMTECHNIK WIRD<\/h1><\/div>

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\u2013<\/p>\n<\/div>

\u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

Vom Rohstoff bis hin zu Hochleistungssubstraten und -komponenten<\/h3><\/div><\/div><\/div>

PLANOPTIK bietet eine breite Palette bew\u00e4hrter Technologien f\u00fcr die Entwicklung und Herstellung einer Vielzahl von Produkten auf Wafer- und Panel-Ebene.<\/p>\n

Unsere Wafer bestehen aus verschiedenen Glas- oder Quarzmaterialien und sind in Gr\u00f6\u00dfen bis zu einem Durchmesser von 300 mm mit hoch\u00adpr\u00e4ziser Oberfl\u00e4chenqualit\u00e4t sowie anwendungsspezifischer Struktu\u00adrierung oder komplexen Materialkombinationen erh\u00e4ltlich. Mit unserem Technologieportfolio k\u00f6nnen wir nicht nur Wafer, sondern auch Panels oder mikrofluidische Bauelemente bearbeiten.<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>

\u2013<\/p>\n<\/div>

\u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

Shaping<\/h1><\/div>

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Glas zu Wafern und Panels verarbeiten<\/h3><\/div><\/div><\/div>
\"Shaping\"<\/span><\/div><\/div><\/div>

Die Herstellung von Wafern und Panels beginnt mit dem Rohmaterial. Mithilfe pr\u00e4ziser Verfahren wird das Material in Wafer oder Panels mit unterschiedlichen Geometrien zugeschnitten. Zu diesen Verfahren geh\u00f6ren beispielsweise:<\/p>\n<\/div>

\u2013 DIAMOND CUTTING
\n\u2013 WATER-JET CUTTING
\n\u2013 WIRE SAWING
\n\u2013 EDGE GRINDING<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>

\u2013<\/p>\n<\/div>

\u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

Oberfl\u00e4chenbehandlung und Veredelung<\/h1><\/div>

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\u2013<\/p>\n<\/div>

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Von Substraten hin zu Produkten mit hochpr\u00e4zisen Oberfl\u00e4chen<\/h3><\/div><\/div><\/div>

Anschlie\u00dfend werden verschiedene Ma\u00dfnahmen ergriffen, um die vom Kunden geforderte Qualit\u00e4t und Ma\u00dfgenauigkeit zu erreichen. Hierf\u00fcr k\u00f6nnten folgende Verfahren zum Einsatz kommen:<\/p>\n<\/div>

\u2013 SCHLEIFEN
\n\u2013 POLIEREN<\/p>\n<\/div>

– Normales Polieren
\n– MDF-Polieren<\/p>\n<\/div>

Unsere Verfahren erm\u00f6glichen es uns, Oberfl\u00e4chen von hoher Qualit\u00e4t zu erzielen mit<\/p>\n<\/div>

    \n
  • einer Dicke von bis zu 200 \u03bcm<\/li>\n
  • einem TTV ab 1 \u00b5m (abh\u00e4ngig von Waferdicke und -durchmesser)<\/li>\n
  • einer Oberfl\u00e4chenrauheit von \u2264 0,5 nm (Ra)<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/div><\/div>
    \"MDF<\/span><\/div>

    Unser MDF-Polierverfahren erm\u00f6glicht einen sauberen \u00c4tzprozess<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>

    \u2013<\/p>\n<\/div>

    \u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

    Patterning<\/h1><\/div>

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    Fortschrittliche Strukturierung auf hochpr\u00e4zisen Oberfl\u00e4chen<\/h3><\/div><\/div><\/div>

    Die Glasstrukturierung erm\u00f6glicht die Erzeugung funktionaler Merkmale und pr\u00e4ziser Geometrien f\u00fcr eine Vielzahl von Hightech-Anwendungen. Je nach erforderlicher Strukturgr\u00f6\u00dfe, Geometrie, Tiefe und Oberfl\u00e4chen\u00adqualit\u00e4t kommen unterschiedliche Strukturierungstechnologien zum Einsatz.<\/p>\n

    Dazu geh\u00f6ren beispielsweise das Sandstrahlen f\u00fcr gro\u00dffl\u00e4chige Struktu\u00adren und Hohlr\u00e4ume, die Laserbearbeitung f\u00fcr eine \u00e4u\u00dferst flexible und pr\u00e4zise Materialbearbeitung, das chemische \u00c4tzen f\u00fcr glatte und exakte Mikrostrukturen sowie das \u00c4tzen per Laser f\u00fcr komplexe dreidimensio\u00adnale Strukturen mit hoher Pr\u00e4zision.<\/p>\n

    Die Wahl des geeigneten Strukturierungsverfahrens ist entscheidend, um die gew\u00fcnschte Leistungsf\u00e4higkeit, Genauigkeit und Kosteneffizienz des fertigen Bauteils zu erreichen. Beispiele f\u00fcr solche Modifikationen k\u00f6nnten sein:<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    <\/div><\/div><\/div>
    \"Through<\/span><\/div>

    Through Glass VIAS<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Blind<\/span><\/div>

    Blind holes<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Cavities\"<\/span><\/div>

    Cavities<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Channels\"<\/span><\/div>

    Channels<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Markings\"<\/span><\/div>

    Markings<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    Through-Glass-Vias<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Hole<\/span><\/div>

    Lochdurchmesser >= 30 \u00b5m<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Tapered<\/span><\/div>

    Konisch zulaufendes TGV<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Nearly<\/span><\/div>

    Ann\u00e4hernd gerades TGV<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Pitch<\/span><\/div>

    Teilung mit zweifachem Lochdurchmessers<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>

    \u2013<\/p>\n<\/div>

    \u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

    Weiterf\u00fchrende Verarbeitung<\/h1><\/div>

    \u2013<\/p>\n<\/div>

    \u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

    <\/div>
    <\/div>

    \u2013<\/p>\n<\/div>

    \u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

    Funktionalit\u00e4t durch fortschrittliche Prozessschritte erm\u00f6glichen<\/h3><\/div>

    Im Anschluss an den Strukturierungsprozess sind h\u00e4ufig weitere Fertigungs\u00adschritte erforderlich, um das Substrat in ein voll funktionsf\u00e4higes Bauteil umzuwandeln. Je nach Anwendung k\u00f6nnen diese Prozesse die Metallisie\u00adrung zur Herstellung elektrischer Leitf\u00e4higkeit, Beschichtungen zur Verbes\u00adse\u00adrung optischer, mechanischer oder chemischer Eigenschaften, das Ver\u00adkleben zur Integration verschiedener Materialien oder Komponenten sowie das Zerschneiden zur Trennung einzelner Bauelemente umfassen.<\/p>\n

    Die Auswahl und Kombination dieser Verfahren wird auf die spezifischen Produktanforderungen zugeschnitten, um optimale Funktionalit\u00e4t, Zuver\u00adl\u00e4ssigkeit und Leistung in anspruchsvollen Hightech-Anwendungen zu gew\u00e4hrleisten.<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

    \"Glass<\/span><\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>

    Metallisierung<\/p>\n

    Vollfl\u00e4chige Kupfer-Metallisierung
    \nmit der CU-Liner-Strategie<\/p>\n<\/div>

      \n
    • Substratmaterial: Borofloat33, Quarz<\/li>\n
    • Waferdurchmesser: bis zu 300 mm<\/li>\n
    • Plattenabmessungen: bis zu 300 x 300 mm<\/li>\n
    • Plattenabmessungen: bis zu 300 x 300 mm<\/li>\n
    • Substratdicke: 300 \u2013 1000 \u03bcm<\/li>\n
    • Lochdurchmesser: \u226575 \u03bcm<\/li>\n
    • Abstand: das Doppelte des Lochdurchmessers<\/li>\n
    • Kupferdicke: 2..10 \u03bcm<\/li>\n<\/ul>\n<\/div>

      Umverteilungsschicht<\/p>\n<\/div>

        \n
      • Ma\u00dfgeschneiderte RDL bis zu 200 mm Durchmesser<\/li>\n
      • Leitungsbreite \/ Abstand: 50 \u00b5m \/ 50 \u00b5m<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/div><\/div>
        \"Metallisation\"<\/span><\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>
        \"Lithography\"<\/span><\/div>

        Lithografie<\/p>\n<\/div>

          \n
        • Fotolack<\/li>\n
        • L\u00f6tmaske<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/div><\/div>
          \"Various<\/span><\/div>

          Verschiedene Beschichtungen<\/p>\n<\/div>

            \n
          • ITO<\/li>\n
          • Titan<\/li>\n
          • Kupfer<\/li>\n
          • Aluminium<\/li>\n
          • Chrom<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/div><\/div>
            \"Bonding<\/span><\/div>

            Bonding<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

            \"Dicing\"<\/span><\/div>

            Zerteilen (Dicing)<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

            \"Lithography\"<\/span><\/div>

            Lithografie<\/p>\n<\/div>

              \n
            • Fotolack<\/li>\n
            • L\u00f6tmaske<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/div><\/div>
              \"Various<\/span><\/div>

              Verschiedene Beschichtungen<\/p>\n<\/div>

                \n
              • ITO<\/li>\n
              • Titan<\/li>\n
              • Kupfer<\/li>\n
              • Aluminium<\/li>\n
              • Chrom<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

                Team up with PLANOPTIK<\/h2><\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n<\/div><\/div>

                \"Team<\/span><\/div><\/div><\/div>
                \"Team<\/span><\/div><\/div><\/div>
                <\/div><\/div><\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

                Ma\u00dfgeschneidert entwickelt<\/h4><\/div>

                Entwickeln Sie ein neues Mikrosystem? Kom\u00adbinie\u00adren Sie Mikroelektronik, Mikromechanik oder Mikrofluidik, um ein neues Produkt zu schaffen? Entwickeln Sie einen Sensor, ein elektronisches Ger\u00e4t, ein fluidisches System oder etwas, das es bisher noch nicht gab? Arbeiten Sie mit PLANOPTIK zusammen.<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

                Zuverl\u00e4ssige Partnerschaft<\/h4><\/div>

                Bei uns finden Sie einen Partner, der gemein\u00adsam mit Ihnen elektronische, mechanische, optische, chemische oder biologische Mikro\u00adkomponenten entwickelt und sich mit Werk\u00adstoffen wie Glas, Sili\u00adzium und Kupfer bestens auskennt.<\/p>\n<\/div><\/div><\/div>

                \"Team<\/span><\/div><\/div><\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div>

                \u2013<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

                Gemeinsam bis zur Produktion<\/h4><\/div>

                PLANOPTIK fertigt die gemeinsam entwickel\u00adten Mikrokomponenten und Elemente zudem in gro\u00dfen St\u00fcckzahlen unter Einsatz moderns\u00adter waferbasierter Fertigungsverfahren.<\/p>\n<\/div><\/div><\/div><\/div><\/div>\n<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"parent":0,"menu_order":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"100-width.php","meta":{"footnotes":""},"class_list":["post-1880","page","type-page","status-publish","hentry"],"yoast_head":"\nPLANOPTIK AG | TECHNOLOGIEN - PLANOPTIK AG<\/title>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/www.planoptik.com\/de\/technologien\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"de_DE\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"PLANOPTIK AG | TECHNOLOGIEN - PLANOPTIK AG\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/www.planoptik.com\/de\/technologien\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"PLANOPTIK AG\" \/>\n<meta property=\"article:publisher\" content=\"https:\/\/www.facebook.com\/Plan.Optik.AG\/\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2026-07-21T09:05:31+00:00\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"Gesch\u00e4tzte Lesezeit\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"8\u00a0Minuten\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\\\/\\\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\\\/\\\/www.planoptik.com\\\/de\\\/technologien\\\/\",\"url\":\"https:\\\/\\\/www.planoptik.com\\\/de\\\/technologien\\\/\",\"name\":\"PLANOPTIK AG | TECHNOLOGIEN - 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