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PRODUKTE
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GLAS- UND
QUARZWAFER
Durchmesser: 50-300 mm.
Ab 100 µm Dicke. Borosilikatgläser.
Alkalifreie Gläser. Quarzgläser.
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STRUKTURIERTE
WAFER
Bohrungen. Cavities. Kanäle.
Für Drucksensoren und Fluidikchips.
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METALLDURCH-
FÜHRUNGEN
Elektrisch leitend. In Glas.
Für Wafer-Level-Packaging.
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GLAS-SI-VERBUND-
WAFER
Dünne Si- und Glasschichten. Bonden. Rückdünnen. Edge Grinding.
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UV-BELICHTUNGS-
OPTIKEN
Maskenhalter. Vakuumchucks aus Glas und Glaskeramiken. Spiegel.
Integratoren. Wärmeschutz. Messtische.
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GROSSFORMATIGE OPTIKEN
Bis 3.000 mm Länge. Maßstabsträger.
XY-Spiegel.
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