Plan Optik AG
 
 
 
 
STRUKTURIERTE WAFER
Wafer

Grundmaterialien: Siehe Glas- und Quarzwafer.
Technologien

Ultraschallbohren.
USHD (Ultra Sonic High Speed Drilling).
Pulverstrahlen.
Ätzen.

  MEHR
Löcher

Runde Durchgangsbohrungen und rechteckige Durchbrüche.
Sehr geringe Lagetoleranzen.
Hohe Zentrizität.
Kanäle

Minimale Kanalbreite 50 µm.
Kanaltiefe und -abstand unbegrenzt.
Kavitäten

Variable Oberflächenqualität des Kavitätsbodens -
bis hin zu optischer Qualität (poliert).
Kontakt

Carsten Wesselkamp
Email: c.wesselkamp@planoptik.com
Telefon: +49 2664 5068 25
Fax: +49 2664 5068 91
 
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