Plan Optik AG
	GLAS- UND QUARZWAFER Materialien Borosilikatglas (z.B. Borofloat 33®; oder Pyrex7740®. Quarzglas (fused quartz und fused silica). Alkalifreies Glas. Optisches Glas. Abmessungen Durchmesser: 50,8 bis 300 mm. Dicke: 100µ bis 10 mm. Ausführung Optimiertes Kantenprofil mit flat(s) oder notch gemäss Semi Standard. Beidseitig oder einseitig poliert oder geschliffen (Standard: beidseitig poliert). Reinraumverpackt - Klasse 1000 gemäss Fed 209. Spezifikationen Minimaler ttv (total thickness variation) 2 µm. Minimaler bow/wrap 10 µm. Minimale Rauhigkeit der polierten Oberflächen 0,5 nm (Ra). MDF-Politur Höchste Oberflächenqualität (keine Mikrodefekte). Kein messbares Micro Damaging (Sub Surface Damaging). Optimale Bondergebnisse (defektfrei und schnell). “ready-to-etch” (stablies, defektfreies Ätzverhalten). Optionen Zwischengrößen. Quadratische Wafer. Asymmetrische Kantenprofile. Fortlaufende Lasernummerierung. Standardwafer Strukturierte Wafer   MEHR (PDF)   MEHR Kontakt Carsten Wesselkamp Email: c.wesselkamp@planoptik.com Telefon: +49 2664 5068 25 Fax: +49 2664 5068 91     ZURÜCK