Packaging Wafer

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Material



Plan Optik fertigt Packaging Wafer aus Glas, Quarz, Silizium und Kombinationen aus diesen Werkstoffen.*


Borosilikatglas


Typ Borofloat 33 ®
Dickenbereich 100 - 3000 µm
Ausdehnungskoeffizient (CTE) 3,25 x 10-6 K-1 (angepasst an Si)
Brechungsindex (nD) 1,4713
Elektrische Eigenschaften Dielektrische Konstante (25°C; 1 MHz): 4,6
Verlustfaktor (25°C; 1 MHz): 37x10-4
Haupteigenschaften Ausdehnungskoeffizient angepasst an Si,
anodisch bondbar
Typ D263 ®
Dickenbereich 100 - 1000 µm
Ausdehnungskoeffizient (CTE) 7,2 x 10-6 K-1
Brechungsindex (nD) 1,523
Elektrische Eigenschaften Dielektrische Konstante (1 MHz): 6,7
Verlustfaktor (1 MHz): 61x10-4
Haupteigenschaften hohe optische Transmission

Alkalifreies Glas


Typ Eagle XG ®
Dickenbereich 100 - 1000 µm
Ausdehnungskoeffizient (CTE) 3,17 x 10-6 K-1 (angepasst an Si)
Brechungsindex (nD) 1,5099
Elektrische Eigenschaften Dielektrische Konstante (20°C; 1 KHz): 5,27
Verlustfaktor (20°C; 1 KHz): 0,3 %
Haupteigenschaften Ausdehnungskoeffizient angepasst an Si,
fluoreszenzarm

Quarz


Typ Fused quartz
Dickenbereich 200 - 3000 µm
Ausdehnungskoeffizient (CTE) 0,5 x 10-6 K-1
Brechungsindex (nD) 1,4586
Elektrische Eigenschaften Dielektrische Konstante (20°C; 1 MHz): 3,75
Verlustfaktor (20°C; 1 MHz): 4x10-4
Haupteigenschaften hohe Temperaturbeständigkeit,
UV-durchlässig
Typ fused silica
Dickenbereich 200 - 3000 µm
Ausdehnungskoeffizient (CTE) 0,5 x 10-6 K-1
Brechungsindex (nD) 1,4584
Elektrische Eigenschaften Dielektrische Konstante (20°C; 1 MHz): 3,8
Verlustfaktor (25°C; 1 MHz): 4x10-4
Haupteigenschaften hohe Temperaturbeständigkeit,
UV-durchlässig

Silizium


Plan Optik verwendet für die Herstellung von Packaging Wafern sämtliche am Markt verfügbare Standard-Silizium-Wafer aller namhafter Hersteller, deren Spezifikationen in Abhängigkeit vom Kundenwunsch passend gewählt werden.


Weitere Materialien


Plan Optik fertigt nach Kundenanforderung Packaging Wafer aus einer Auswahl von mehr als 300 Glasarten oder Kombinationen hieraus (z.B. optische Gläser, Kalk-Natron-Glas).



* Alle technischen Daten gem. Angaben der Hersteller der Rohmaterialien - ohne Gewähr - Änderungen vorbehalten