Plan Optik fertigt Packaging Wafer aus Glas, Quarz, Silizium und Kombinationen aus diesen Werkstoffen.*
Borosilikatglas
| Typ | Borofloat 33 ® |
| Dickenbereich | 100 - 3000 µm |
| Ausdehnungskoeffizient (CTE) | 3,25 x 10-6 K-1 (angepasst an Si) |
| Brechungsindex (nD) | 1,4713 |
| Elektrische Eigenschaften |
Dielektrische Konstante (25°C; 1 MHz): 4,6 Verlustfaktor (25°C; 1 MHz): 37x10-4 |
| Haupteigenschaften |
Ausdehnungskoeffizient angepasst an Si, anodisch bondbar |
| Typ | D263 ® |
| Dickenbereich | 100 - 1000 µm |
| Ausdehnungskoeffizient (CTE) | 7,2 x 10-6 K-1 |
| Brechungsindex (nD) | 1,523 |
| Elektrische Eigenschaften |
Dielektrische Konstante (1 MHz): 6,7 Verlustfaktor (1 MHz): 61x10-4 |
| Haupteigenschaften | hohe optische Transmission |
Alkalifreies Glas
| Typ | Eagle XG ® |
| Dickenbereich | 100 - 1000 µm |
| Ausdehnungskoeffizient (CTE) | 3,17 x 10-6 K-1 (angepasst an Si) |
| Brechungsindex (nD) | 1,5099 |
| Elektrische Eigenschaften |
Dielektrische Konstante (20°C; 1 KHz): 5,27 Verlustfaktor (20°C; 1 KHz): 0,3 % |
| Haupteigenschaften |
Ausdehnungskoeffizient angepasst an Si, fluoreszenzarm |
Quarz
| Typ | Fused quartz |
| Dickenbereich | 200 - 3000 µm |
| Ausdehnungskoeffizient (CTE) | 0,5 x 10-6 K-1 |
| Brechungsindex (nD) | 1,4586 |
| Elektrische Eigenschaften |
Dielektrische Konstante (20°C; 1 MHz): 3,75 Verlustfaktor (20°C; 1 MHz): 4x10-4 |
| Haupteigenschaften |
hohe Temperaturbeständigkeit, UV-durchlässig |
| Typ | fused silica |
| Dickenbereich | 200 - 3000 µm |
| Ausdehnungskoeffizient (CTE) | 0,5 x 10-6 K-1 |
| Brechungsindex (nD) | 1,4584 |
| Elektrische Eigenschaften |
Dielektrische Konstante (20°C; 1 MHz): 3,8 Verlustfaktor (25°C; 1 MHz): 4x10-4 |
| Haupteigenschaften |
hohe Temperaturbeständigkeit, UV-durchlässig |
Silizium
Plan Optik verwendet für die Herstellung von Packaging Wafern sämtliche am Markt verfügbare Standard-Silizium-Wafer aller namhafter Hersteller, deren Spezifikationen in Abhängigkeit vom Kundenwunsch passend gewählt werden.
Weitere Materialien
Plan Optik fertigt nach Kundenanforderung Packaging Wafer aus einer Auswahl von mehr als 300 Glasarten oder Kombinationen hieraus (z.B. optische Gläser, Kalk-Natron-Glas).
* Alle technischen Daten gem. Angaben der Hersteller der Rohmaterialien - ohne Gewähr - Änderungen vorbehalten