Mikrolinsen

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Bondtechnologien



Mikrolinsen von Plan Optik können mittels innovativer Bond-Verfahren mit Abstandshaltern (so genannten Spacern oder Interposern) versehen werden.

Durch den Einsatz von Spacern bzw. Interposern können Linsenpakete bestehend aus Linsen unterschiedlichster Geometrie erzeugt werden.


Mikrolinsen
Mikrolinse verbondet mit Spacer
Mikrolinsen
Linsenstack bestehend aus
2 Linsenwafern und 2 Spacern


Als Verbindungsverfahren setzt Plan Optik folgende Technologien ein:


Anodisches Bonden


Zur Verbindung von Linsenwafern mit Silizium. Dauerhafte, temperaturbeständige und hermetische Verbindung ohne den Einsatz von Hilfsmaterialien.


Direktes Bonden


Zur Verbindung von Linsenwafern mit Silizium. Dauerhafte, temperaturbeständige und hermetische Verbindung ohne den Einsatz von Hilfsmaterialien.


Klebeverfahren


Zur Verbindung von Linsenwafern mittels Spacern unterschiedlicher Materialien (Glas oder Silizium) unter Einsatz anwenderspezifisch optimierter Medien zur permanenten oder reversiblen Verklebung.