Mikrolinsen

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Mikrolinsen



Plan Optik fertigt Mikrolinsen auf Waferbasis durch Einsatz eines patentierten Glas-Reflow-Prozesses, mit dem es möglich ist, konvexe und konkave, sphärische und zylindrische Linsenstrukturen aus Glas zu erzeugen. Plan Optik liefert diese Mikrolinsen als komplette Wafer zur Verkapselung von MOEMS (Mikro Opto Elektrisch Mechanische Systeme), aber auch mittels eines hochgenauen Sägeverfahrens zu Einzellinsen oder -arrays vereinzelt.

Bei dem eingesetzten Material handelt es sich um Borosilikatglas, dessen Audehnungskoeffizient an Silizium angepasst wurde. Dies ermöglicht die Verarbeitung von Linsenwafern durch anodisches Bonden mit mikrostrukturierten Siliziumwafern zum Aufbau von beispielsweise Bildsensoren. Gegenüber in diesem Bereich klassischerweise eingesetzten Polymerlinsen weisen Glaslinsen eine wesentlich höhere Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen und Feuchtigkeit auf. Aus diesem Grund ermöglicht der Einsatz von Plan Optik Linsenwafern typische, in der Halbleiterindustrie eingesetzte Fertigungsverfahren wie beispielsweise das Löten von Kontakten, ohne die Linsen zu zerstören.