Fluidikkomponenten

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Oberfläche



Plan Optik bietet Fluidikkomponenten wahlweise mit geschliffenen oder polierten Oberflächen an. Die Oberflächenbeschaffenheit kann anwendungsspezifisch (anodisches Bonden, direktes Bonden, Ätzen, Bedarf nach hydrophoben oder hydrophilen Oberflächen etc.) gewählt werden. Durch besondere Poliertechniken wie dem eigenentwickelten MDF-Verfahren (Micro Damage Free) verfügen die Fluidikkomponenten von Plan Optik bei Bedarf über besonders geringe Oberflächenrauheit im Angströmbereich.


MDF-Politur


Rauigkeit Ra < 0,5 nm
Material für Glas- und Quarzglas verfügbar
Anwendung für direktes Bonden (fusion bond) und Nassätzen

Standardpolitur


Rauigkeit Ra < 1,5 nm
Material für Glas-, Quarzglas und Silizium verfügbar
Anwendung für das anodische und eutektische Bonden

Geschliffene Oberflächen



Rauigkeit Ra ab 0,1 µm
Material für Glas-, Quarzglas und Silizium verfügbar
Anwendung für Klebeverfahren

Die Kombination der beschriebenen Oberflächen innerhalb eines Bauteils ist ebenso möglich wie die Herstellung der Oberflächen nach kundenspezifisch vorgegebenen Parametern.