Fluidikkomponenten

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Material



Plan Optik produziert Fluidikkomponenten aus anodisch bondbarem Borosilikatglas, alkalifreiem Glas, Quarzglas und Glas-Si-Kombinationen.*


Borosilikatglas


Typ Borofloat 33 ®
Dickenbereich 100 - 3000 µm
Ausdehnungskoeffizient (CTE) 3,25 x 10-6 K-1 (angepasst an Si)
Brechungsindex (nD) 1,4713
Elektrische Eigenschaften Dielektrische Konstante (25°C; 1 MHz): 4,6
Verlustfaktor (25°C; 1 MHz): 37x10-4
Haupteigenschaften Ausdehnungskoeffizient angepasst an Si,
anodisch bondbar

Fused quartz


Dickenbereich 300 - 2000 µm
Ausdehnungskoeffizient (CTE) 0,5 x 10-6 K-1
Brechungsindex (nD) 1,4586
Elektrische Eigenschaften Dielektrische Konstante (20°C; 1 MHz): 3,75
Verlustfaktor (20°C; 1 MHz): 4x10-4
Haupteigenschaften hohe Temperaturbeständigkeit durch niedrigen Anteil an Hydroxid-Gruppen (OH)
UV-durchlässig ab ca. 270 nm

Fused Silica


Dickenbereich 300 - 2000 µm
Ausdehnungskoeffizient (CTE) 0,5 x 10-6 K-1
Brechungsindex (nD) 1,4584
Elektrische Eigenschaften Dielektrische Konstante (20°C; 1 MHz): 3,8
Verlustfaktor (25°C; 1 MHz): 4x10-4
Haupteigenschaften hochgradig UV-durchlässig ab ca. 200 nm

Silizium


Plan Optik verwendet für die Herstellung von Fluidikkomponenten sämtliche am Markt verfügbare, monokristalline Standard-Silizium-Wafer, deren Spezifikationen in Abhängigkeit vom Kundenwunsch passend gewählt werden.

Für Fluidikkomponenten werden typischerweise p-Bor-dotierte <100> Wafer verwendet.


Weitere Materialien


Plan Optik fertigt nach Kundenanforderung Fluidikkomponenten aus allen verfügbaren Gläsern namhafter Hersteller.



* Alle technischen Daten gem. Angaben der Hersteller der Rohmaterialien - ohne Gewähr - Änderungen vorbehalten