Fluidikkomponenten

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Bondtechnologien



Die aus Materialkombinationen bestehenden Fluidikkomponenten von Plan Optik werden anwendungsspezifisch mit geeigneten Bondverfahren hergestellt.


Anodisches Bonden


Zur Verbindung von Borosilikatglas mit Silizium. Dauerhafte, temperaturbeständige und hermetische Verbindung ohne den Einsatz von Hilfsmaterialien.


Direktes Bonden


Zur Verbindung unterschiedlicher Glastypen untereinander und mit Silizium. Dauerhafte, temperaturbeständige und hermetische Verbindung ohne den Einsatz von Hilfsmaterialien.


Klebeverfahren


Zur Verbindung von Wafern aller Materialien unter Einsatz anwenderspezifisch optimierter Medien zur permanenten oder reversiblen Verklebung.


Eutektisches Bonden


Zur Verbindung von Wafern aller Materialen unter Einsatz metallischer Legierungen wie zum Beispiel Silizium-Gold.