Fluidikkomponenten

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Abmessung



Plan Optik produziert Fluidikkomponenten auf Waferbasis mit Durchmessern von 2" bis 200 mm und Dicken ab 150 µm. Die exakte Spezifikation des jeweiligen Wafers wird anwendungsspezifisch mit dem Kunden gemeinsam festgelegt.


Durchmesser 2" - 200 mm
Dickenbereich 150 - 3000 µm
Total thickness variation (ttv) ab 2 µm
Kantengeometrie inkl. Flat(s) + Notch gemäß SEMI für monokristalline Si-Wafer

Plan Optik fertigt Fluidikkomponenten auf Basis von Spezifikationen, die in enger Zusammenarbeit mit den Kunden anwendungsspezifisch festgelegt werden.