Through Glass Vias (TGV)

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Oberfläche



Plan Optik bietet TGV wahlweise mit geschliffenen oder polierten Oberflächen an. Die Oberflächenbeschaffenheit kann anwendungsspezifisch gewählt werden.


Standardpolitur


Rauigkeit Ra < 1,5 nm

Geschliffene Oberflächen



Rauigkeit Ra ab 0,1 µm

Die Kombination der beschriebenen Oberflächen innerhalb eines Wafers ist ebenso möglich wie die Herstellung der Oberflächen nach kundenspezifisch vorgegebenen Parametern.

Je nach Anwendungsfall können die Silizium oder die Glasflächen innerhalb der TGV versenkt oder erhaben hergestellt werden.