Through Glass Vias (TGV)

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Material



Plan Optik fertigt TGV aus einer Kombination von Borosilikatglas und hochdotiertem Silizium.*


Borosilikatglas


Typ Borofloat 33 ®
Ausdehnungskoeffizient (CTE) 3,25 x 10-6 K-1 (angepasst an Si)
Brechungsindex (nD) 1,4713
Elektrische Eigenschaften Dielektrische Konstante (25°C; 1 MHz): 4,6
Verlustfaktor (25°C; 1 MHz): 37x10-4
Haupteigenschaften Ausdehnungskoeffizient angepasst an Si,
anodisch bondbar

Silizium


Typ hochdotiert
Dotierung P+ (Bor)
Kristallorientierung <100>
Widerstand 0.01 - 0.02 Ωcm

Weitere Materialien


Plan Optik fertigt nach Kundenanforderung TGV unter Verwendung aller, am Markt verfügbarer Kristallorientierungen und Dotierungen.



* Alle technischen Daten gem. Angaben der Hersteller der Rohmaterialien - ohne Gewähr - Änderungen vorbehalten