Standard Borosilikatwafer

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Standard Borosilikatwafer


für MEMS und Optoelektronik



Standardwafer von Plan Optik sind ab Lager mit kurzen Lieferzeiten verfügbar (Zwischenverkauf vorbehalten). Standardwafer sind sowohl in bewährter Standard-Politur als auch mit der hochwertigen MDF- Politur (Micro Damaging Free) erhältlich.


Material Borofloat® 33
Ausdehnungskoeffizient (CTE) 3,25 x 10-6 K-1 (angepasst an Si)
Brechungsindex (nD) 1,4713
Elektrische Eigenschaften Dielektrische Konstante (25°C; 1 MHz): 4,6
Verlustfaktor (25°C; 1 MHz): 37x10-4
Log elektr. Volumenwiderstand: (250°C): 8,0 Ωcm
(350°C): 6,5 Ωcm
Haupteigenschaften Ausdehnungskoeffizient angepasst an Si,
anodisch bondbar
Kantenbearbeitung optimiertes Kantenprofil für Glaswafer (gem. SEMI)
Randausschlusszone 6 mm
Verpackung reinraumverpackt, Klasse 1000 gem. Fed 209
Verpackungseinheit Min. 10 Stück
Mindestbestellmenge 1 Verpackungseinheit


Artikelnummer Durchmesser (mm) Dicke (μm) ttv ((μm) Politurstufe SEMI flat/notch (mm)
V015.04-1002 100.0 ± 0.3 100 ± 10 < 10 Standard 32.5
V015.04-1003 100.0 ± 0.3 150 ± 10 < 10 Standard 32.5
V015.04-1004 100.0 ± 0.3 200 ± 10 < 10 Standard 32.5
V015.04-0005 100.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 MDF 32.5
V015.04-1005 100.0 ± 0.3 300 ± 10 < 10 Standard 32.5
V015.04-1006 100.0 ± 0.3 400 ± 10 < 10 Standard 32.5
V015.04-1007 100.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 Standard 32.5
V015.04-1008 100.0 ± 0.3 600 ± 10 < 10 Standard 32.5
V015.04-1009 100.0 ± 0.3 700 ± 10 < 10 Standard 32.5
V015.04-1011 100.0 ± 0.3 1000 ± 10 < 10 Standard 32.5
V015.06-1002 150.0 ± 0.3 100 ± 10 < 10 Standard 57.5
V015.06-1003 150.0 ± 0.3 150 ± 10 < 10 Standard 57.5
V015.06-1004 150.0 ± 0.3 200 ± 10 < 10 Standard 57.5
V015.06-1005 150.0 ± 0.3 300 ± 10 < 10 Standard 57.5
V015.06-1006 150.0 ± 0.3 400 ± 10 < 10 Standard 57.5
V015.06-1007 150.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 Standard 57.5
V015.06-0008 150.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 MDF 57.5
V015.06-1008 150.0 ± 0.3 600 ± 10 < 10 Standard 57.5
V015.06-1009 150.0 ± 0.3 700 ± 10 < 10 Standard 57.5
V015.06-1011 150.0 ± 0.3 1000 ± 10 < 10 Standard 57.5
V015.08-0004 200.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 MDF Notch
V015.08-1004 200.0 ± 0.3 200 ± 10 < 10 Standard Notch
V015.08-1005 200.0 ± 0.3 300 ± 10 < 10 Standard Notch
V015.08-1006 200.0 ± 0.3 400 ± 10 < 10 Standard Notch
V015.08-1007 200.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 Standard Notch
V015.08-1008 200.0 ± 0.3 600 ± 10 < 10 Standard Notch
V015.08-1009 200.0 ± 0.3 700 ± 10 < 10 Standard Notch
V015.08-1011 200.0 ± 0.3 1000 ± 10 < 10 Standard Notch
V015.12-0005 300.0 ± 0.2 775 ± 20 < 10 MDF Notch
V015.12-1006 300.0 ± 0.3 400 ± 10 < 10 Standard Notch
V015.12-1007 300.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 Standard Notch
V015.12-1009 300.0 ± 0.3 700 ± 10 < 10 Standard Notch
V015.12-1011 300.0 ± 0.3 1000 ± 10 < 10 Standard Notch


Standard Politur


Für alle Standardanwendungen wie z.B. anodisches Bonden mit Si.
Rauigkeit < 1,0 nm


MDF Politur


Speziell für nasschemische Strukturierungen (kein sub surface damaging) und Direktbond. Rauigkeit < 0,5 nm



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