Kundenspezifische Borosilikatwafer

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Kundenspezifische Borosilikatwafer



Plan Optik fertigt kundenspezifische Wafer von der Einzelanfertigung bis hin zur Großserie aus verschiedenen Glas- und Quarztypen. Der Durchmesser beträgt 50 bis 300 mm mit geringen Dickentoleranzen und niedrigen ttv-Werten.

Kundenspezifische Wafer von Plan Optik werden eingesetzt, um daraus optische oder chemische Sensoren, Drucksensoren und Beschleunigungssensoren herzustellen. Typische industrielle Anwendungsbereiche liegen im Bereich Consumer Electronics (CMOS-Imaging, Micro Mirrors), Automotive (Drucksensoren z.B. Reifen, Motorsteuerung), Luft- und Raumfahrt (3D-Beschleunigungssensoren), Chemie (Mikroreaktionstechnik), Pharma (Lab-on-chip) sowie der allgemeinen Halbleiterfertigung.