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10.07.2015
Plan Optik führt hochpräzise Laserstrukturierungs-Technologie ein




Die Plan Optik AG, führender Hersteller von Glas, Quarz und Glas-Silizium- Verbundwafern, hat kürzlich die Technologie der Laserstrukturierung in seine Prozesse integriert. Glas, Quarz (z.B. fused silica) und Silizium können nun mit einer extrem hohen Genauigkeit strukturiert werden.

Der Prozess der Laserstrukturierung wird für sehr kleine Strukturierungen ab ca. 20 Mikrometer Abmessung genutzt. Die Strukturierung unterschiedlicher Schichttiefen erfordert üblicherweise mehrere, hintereinandergeschaltete Prozessschritte. Zwischen jedem Schritt ist die korrekte Ausrichtung zur vorherigen Struktur notwendig. Beim Lasersstrukturierungsverfahren werden unterschiedliche Schichten in einem Prozessschritt hergestellt. Somit ist eine optimale Ausrichtung der Strukturierungen zueinander gewährleistet.

Im Vergleich zu anderen gängigen Strukturierungsmethoden wie beispielsweise dem nasschemischen oder dem Sandstrahlverfahren ermöglicht die Laserbearbeitung deutlich höhere Aspektverhältnisse, führt zu einer deutlich höheren Genauigkeit und generiert sehr glatte Strukturkanten.

Zusätzlich ermöglicht dieses Verfahren die Zurichtung komplexer Formen und Teile bis hin zur hochgenauen Vereinzelung von Bauteilen.

Die Laserstrukturierung erfolgt unmittelbar aus .dxf, .gds, oder .dwg Layout-Dateien. Weitere Dateitypen können in die oben genannten Dateiformate umgewandelt werden. Dies ermöglicht eine sehr schnelle und günstige Erstellung von Prototypen, da keine Masken benötigt werden.

Mit der Laserstrukturierung erweitert die Plan Optik AG ihr Prozessportfolio zur Mikrobearbeitung. Gemeinsam mit nasschemischer Strukturierung, Ultraschallbohren, Diamantbohren und Sandstrahlen verfügt die Plan Optik AG nun hausintern über alle relevanten Methoden zur Glas- und Quarz- Oberflächenstrukturierung. Dies sorgt dafür, dass die Plan Optik AG als zentrale Anlaufstelle für jegliche strukturierte Glas- und Quarzteile in den Anwendungsbereichen der Mikrosystemtechnik und Halbleiteranwendungen dient.

Die Plan Optik AG setzt zur Prozesskontrolle Qualitätsmanagementsysteme nach ISO TS 16949, ISO 14001 und ISO 9001 ein.

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