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09.04.2015
Prozess-Carrier für das Handling von Wafern und Substraten


Die Plan Optik AG, führender Anbieter von Glas-, Quarz- und Glas-Silizium-Verbundwafern, hat seine Produktpalette im Bereich Carrier Wafer für das Handling von dünnen Halbleiter Wafern und Substraten enorm ausgeweitet.

Ihre neue Anlage passt nicht mehr zu allen existierenden Produkten?

Sie haben in neues Equipment investiert, doch die Produkte einiger Ihrer Kunden verlangen weiterhin nach der Möglichkeit des Prozessierens kleinerer Wafer?

Die zu bearbeitenden Substrate passen nicht zu klassischen Waferabmessungen auf die die meisten Prozesse ausgelegt sind, weil sie beispielsweise rechteckig sind?

Die Herstellung von Halbleitern, Sensoren und anderen Produkten erfordern eine Vielzahl an Prozessschritten. Die meisten Produktionsanlagen in diesem Bereich können jedoch lediglich Wafer mit Standardabmessungen verarbeiten. Um das Prozessieren kleinerer, runder Wafer oder Wafern mit anderen Geometrien zu gewährleisten, kann ein Carrier von Plan Optik die Umsetzung Ihrer Aufgabenstellung unterstützen.

Die Prozess-Carrier der Plan Optik AG bestehen entweder aus oberflächenbearbeiteten Siliziumwafern (beispielsweise mit Taschen, die Wafer mit geringeren Abmessungen aufnehmen) oder einer Kombination aus einem blanken Siliziumwafer mit aufgebondetem Glasring. Plan Optiks Prozess-Carrier sind in vielfältigen Kombinationen verfügbar (300 mm Carrier für 200 mm Wafer, 200 mm Carrier für 150 mm Wafer, usw.) Auch mehrere kleinere Substrate können verarbeitet werden (z.B. mehrere 3'' Wafer auf einem 200 mm Carrier oder auch hunderte von kleineren Abmessungen wie beispielsweise 10 mm x 10 mm Substrate). Die Kombinationsmöglichkeiten sind hierbei nahezu unbegrenzt.

Plan Optiks Prozess-Carrier passen zu einer Vielzahl an Prozessen für die Halbleiter- oder MEMS-Industrie. Hierbei sind eine hohe thermische und chemische Beständigkeit, sowie sehr geringe Toleranzen charakteristisch. Auch die an Silizium oder sonstige Substrate angepasste thermische Ausdehnung ist anpassbar. Spezielle, haftende oder nichthaftende Oberflächen können ebenfalls realisiert werden. Eine perfekte Oberflächenqualität wird durch das von der Plan Optik AG langjährig etablierte doppelseitige Polierverfahren gewährleistet. Des Weiteren können diese Prozess-Carrier mit einer spezifischen Lasermarkierung inklusive QR-Code versehen werden, um die einfache Prozessverfolgung und somit eine hohe Anzahl an Wiederverwendungszyklen zu ermöglichen.

Zur Sicherung höchster Qualitätsansprüche setzt Plan Optik AG Qualitätsmanagementsysteme nach ISO TS 16949, ISO 14001 und ISO 9001 ein.

Um ein auf Ihre Anforderungen abgestimmtes Angebot zu erhalten, klicken Sie bitte hier.