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27.01.2015
Carrier für das Handling von dünnen Halbleiter-Wafern


Die Plan Optik AG, führender Anbieter von strukturierten Glaswafern, hat ihre Produktion um Carrier für das Handling von dünnen Halbleiter-Wafern erweitert.

Wafer für die Halbleiterindustrie durchlaufen eine Vielzahl an Prozessschritten. TSV Wafer für das 3D Wafer Level Packaging benötigen beispielsweise sehr dünne Halbleiter-Substrate. Aufgrund der immer weiter fortschreitenden Dickenreduktion der Wafer werden zur Handhabung der Wafer in diesen Halbleiterprozessen Carrier zur Unterstützung benötigt.

Diverse Dünnwafer-Handling Systeme sind bereits auf dem Halbleitermarkt etabliert. Die Plan Optik AG liefert solche Prozesscarrier für alle Dünnwafer-Handling Systeme wie von 3M, T-Mat, Brewer Science, EVG, Suss, TOK und weitere.

Plan Optik ist fokussiert auf die Produktion von hochentwickelten Carrier Wafern aus Glas und Silizium, welche die jeweiligen Anforderungen exakt erfüllen. Beständig gegen hohe Temperaturen und Chemikalien, niedrigste Toleranzen (ab 1 µm Dickenabweichung), thermische Ausdehnung angepasst an die verwendeten Halbleitermaterialien, sind nur einige wenige Beispiele dafür. Unterschiedliche Carrier-Typen wie beispielsweise für das Handling von Silizium und Gallium Arsenit Wafern sind ebenfalls verfügbar.

Eine perfekte Oberflächenqualität wird durch das seit langem etablierte beidseitige Polierverfahren der Plan Optik garantiert. Zusätzlich machen Lasermarkierungen sowie QR-Codes für einfache Rückverfolgung die Wafer verwendbar für eine hohe Anzahl an Wiederverwendungszyklen von bis zu 20 Anwendungen. Die Glas-Carrier können zusätzlich verstärkt werden, um diese nahezu unzerbrechlich zu machen. Alkalifreies Glas ist ebenfalls verfügbar.

Blanke Carrier, perforierte Carrier und Carrier mit eingelassenen Taschen sind für unterschiedliche Systeme wie das Laser Debonding, chemisches und thermisches Debonding verfügbar.

Alle Carrier werden in Größen von 50 bis 300mm angeboten. Die beliebtesten Carrier Typen sind ab Lager verfügbar - reinraumverpackt und vorbereitet zur umnittelbaren Verwendung.

Zur Sicherung höchster Qualität setzt Plan Optik AG Qualitätsmanagementsysteme wie ISO TS 16949, ISO 14001 und ISO 9001 ein.

Um ein auf Ihre Anwendungsbedürfnisse angepasstes Angebot zu erhalten, klicken Sie bitte hier.