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27.10.2010
Plan Optik startet neue 200 mm Produktionslinie für MEMS-Kappenwafer


Die Plan Optik AG erweitert ihre MEMS-Kappenwafer-Produktion um eine neue 200 mm Wafer Produktionslinie.

Diese Kapazitätserweiterung bei Plan Optik beinhaltet Investitionen in neueste Schleif- und Poliertechnologien und in Equipment für anodisches Bonden. Weiterhin wurden existierende Prozesse in großem Maßstab automatisiert.




Plan Optik fertigt Kappenwafer aus Glas und Glas-Silizium-Kombinationen. Dies beinhaltet Kappenwafer für die Verkapselung von optischen Mikrosystemen wie beispielsweise CMOS Bildsensoren (Kameras), Projektionschips (DLP) und High-Power-LEDs.

Vollautomatisches Schleifen, Polieren, Ultraschall-Bohren, Sandstrahlen, nasschemisches Ätzen und Bonden von Glas und Glas-Silizium-Verbundwafern stellen die Kernprozesse zur Herstellung dieser Wafer dar. Als Materialien verwendet Plan Optik Borosilikat- und alkalifreie Gläser als auch Silizium und Quarzgläser.

Durch die Kombination der vielfältigen Produktionsverfahren bietet Plan Optik Kappenwafer mit optisch transparenten Kavitäten, Durchgangsbohrungen als auch hochpräzise, unstrukturierte Glassubstrate, die sich durch hervorragende Ergebnisse in den jeweiligen Anwendungen bewährt haben.

Die von Plan Optik produzierten, reinraumtauglichen Wafer finden sich seit vielen Jahren bereits in High-End-Sensoranwendungen.

Alle von Plan Optik hergestellten Wafer zeichnen sich durch niedrigste Dickenschwankung (ttv) und Rauigkeit, sowie sehr hoher Oberflächenqualität aus.

Plan Optik setzte frühzeitig den Maßstab für praktisch perfekte Glasoberflächen durch die Entwicklung und den konsequenten Einsatz des so genannten MDF-Polierverfahrens. Wafer, die mit diesem Verfahren poliert werden, sind ohne weitere Vorbehandlung einsatzbereit als Substrate zum nasschemischen Strukturieren und vermeiden nachweislich das für diesen Prozess typische "Sub-Surface-Damaging", das zu Defekten und einer reduzierten Ausbeute in den betreffenden Prozessen führen kann.

Der Einsatz MDF-polierter Wafer führt also zu verlässlichen Ätzergebnissen und ist die Grundvoraussetzung für eine hohe Prozessausbeute.

Die Plan Optik AG, ein im Entry-Standard börsennotiertes Unternehmen produziert bereits seit nunmehr 20 Jahren polierte Wafer für MEMS- (Mikrosystemtechnik-) Anwendungen wie Reifendrucksensoren und Medikamentendosiersysteme.

Die in diesem Markt geforderte, sehr hohe Qualität und Liefersicherheit gewährleistet Plan Optik durch Zertifizierungen gemäß der international anerkannten Normen ISO TS 16949 (Automobilindustrie), ISO 9001 (Qualitätsmanagement) und ISO 14001 (Umweltmanagement).