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15.01.2010
Substrate für die Mikro-Fluidik


Die Plan Optik AG bietet eine Vielzahl von Substraten im Bereich Mikrofluidik.

  • unstrukturierte Glas- und Quarz-Wafer
  • Glas- und Quarz-Wafer mit Bohrungen und Kanälen
  • Glas-Wafer mit Kavitäten

Plan Optik nutzt dabei sowohl bewährte als auch innovative Methoden für die Strukturierung der Wafer: Sandstrahlen, Nassätzen, Ultraschall-Bohren sowie einen patentierten Bearbeitungsprozess, mit dem spezielle Ausformungen ganz nach Kundenanforderung realisiert werden können. Das Verbinden der blanken oder strukturierten Substrate ist durch direktes, adhesives oder anodisches Bonden bis zu einem Durchmesser von 200 mm verfügbar.

Alle Plan Optik-Wafer verfügen über minimale Dickenschwankungen (ttv), geringe Rauigkeit und höchste Oberflächen-Qualität. Plan Optik setzt die Maßstäbe in der Oberflächenbehandlung durch den Einsatz der MDF-Politur. MDF steht für Micro Damaging Free. Dies gilt auch für die Sub-Oberfläche. Fehler in diesem Bereich, die besonders schwer zu erkennen sind, sorgen häufig für Defekte im Endprodukt. Fehler unterhalb der Oberfläche führen zu kleinen Hohlräumen und nicht gewünschten Kopplungen zwischen verbundenen Substraten und schwächen die Verbundstruktur. MDF-polierte Wafer von Plan Optik schließen diese Fehlerquellen aus und eignen sich daher hervorragend auch für Nassätzverfahren. Die Nutzung MDF-polierter Wafer führt zu konstant guten Nassätz-Ergebnissen und damit zu hoher Ausbeute bei der Herstellung und Betriebssicherheit des Endproduktes. MDF-polierte Wafer sind sowohl als Rohlinge als auch mikrostrukturiert verfügbar. Sie finden bereits heute breite Verwendung in Mikro-Dosiersystemen für Medikamente und zahlreichen Gen-Analyse-Verfahren.

Über die Little Things Factory, eine 100%ige Tochtergesellschaft der Plan Optik AG, sind ergänzende, komplexe OEM-Systeme für Mikroreaktortechnik und Mikrofluidik verfügbar. Die Substrate für die Mikrofluidik komplettieren das breite Produktspektrum der Plan Optik AG.

Plan Optik arbeitet dabei nach höchsten Standards in Produktion und Qualitätskontrolle, wie die Zertifizierungen nach ISO TS 16949, ISO 14001 und ISO 9001 zeigen. Damit garantiert Plan Optik die Herstellung der bestmöglichen Substratqualität.