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02.05.2008
Glass Carrier für Halbleiterprozessierung


Plan Optik AG, der Weltmarktführer für Glas- und Quarzwafer im Bereich Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, bietet ab sofort Glas-Trägerwafer für Halbleiterprozesse - so genannte "Carrier" an.

Halbleiterwafer werden zunehmend dünner und die Anforderungen an ihre Dickentoleranz und Oberflächenqualität in Rückdünn-, Säge- und einer Vielzahl von anderen Prozessen nehmen mehr und mehr zu. Aus diesem Grund stellen hochpräzise Prozess-Trägerwafer (Carrier) eine fundamentale Voraussetzung für Bearbeitungsprozesse dar. Glas verkörpert hierbei das perfekte Substratmaterial, da es eine ausgezeichnete thermische und chemische Stabilität aufweist. Ein zusätzlicher Vorteil ergibt sich durch die Möglichkeit der Wiederverwendung solcher Carrier - ein nicht zu vernachlässigender Beitrag zu Kosteneinsparung und im Umweltschutz.

Plan Optik produziert solche Carrier für den Einsatz im 3M® und Brewer Science® / EVG® Wafer BondTM System.

Die Glas-Carrier von Plan Optik sind typischerweise beidseitig feinstgeschliffen oder poliert. Hierfür werden die neuesten Bearbeitungstechnologien eingesetzt, die es im Bereich der Glasbearbeitung gibt und die entsprechend der Firmenphilosophie überwiegend selbst entwickelt wurden. Eine Dickentoleranz von 5 µm und eine Parallelität (ttv) ab 2 µm führt letztlich zu hochpräzisen Halbleiterwafern. Die Carrier sind reinraumverpackt und können damit unmittelbar eingesetzt werden.

Die Verwendung von unterschiedlichen Glastypen erlaubt eine Anpassung der thermischen Ausdehnung des Carriers an den zu bearbeitenden Halbleiterwafer. Dies reduziert bzw. eliminiert thermischen Stress, falls der Bearbeitungsprozess unter Einsatz von höheren Temperaturen erfolgt.

Glas Carrier sind bis zu einem Durchmesser von 300 mm verfügbar - die geringst mögliche Dicke beträgt 100 µm.

Die neue Produktgruppe der Hableiter-Trägerwafer (Carrier) vervollständigt das breite Produktspektrum hinsichtlich Glas- und Quarzwafern der Plan Optik AG im Bereich Mikrosystem- und Halbleitertechnik. Die Plan Optik AG - eine deutsche Aktiengesellschaft, gelistet im Entry Standard der deutschen Börse - verweist mittlerweile auf eine Erfahrung von über 40 Jahren im Bereich der Glasbearbeitung und beliefert Kunden in Europa, Asien und Nordamerika.