紫外线曝光光学

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紫外线曝光光学


使用于主机板(PCB)的曝光制程



作为世界上最大的紫外线曝光印刷电路板制造设备的光学设备供应商,Plan Optik 在这领域提供多种产品:曝光玻璃,曲面镜,冷光镜,反射镜,凸透镜阵列和热反射滤光片。


紫外线曝光光学


曝光玻璃


这些曝光玻璃作为使用于印刷电路板曝光时的承载光罩底片。由于化学与热稳定性,他们保证了高度的作业安全和性能。

为了制造这些曝光玻璃,Plan Optik 使用一种具有高紫外线穿透的高品质特殊白玻璃,这个材料在低杂质和表面品质等方面进行了提升。与先前一般常用的标准浮法钠钙玻璃相比,这个材质具有相当高的紫外线穿透率。这使得在曝光电路板线路时可以减少 10% 的时间。


材料 紫外线曝光玻璃(PCB)
尺寸 最大为 1500 mm x 1000 mm
品质分类(等级)

1级(使用于非平行光曝光机的标准品质)
最大刮伤宽度:0.06 mm
最大杂质尺寸:0.40 mm

2级(使用于高品质的非平行光曝光机)
最大刮伤宽度:0.04 mm
最大杂质尺寸:0.20 mm

3级(使用于平行光曝光机的标准品质)
最大刮伤宽度:0.03 mm
最大杂质尺寸:0.10 mm

4级(使用于高品质的平行光曝光机)
最大刮伤宽度:0.02 mm
最大杂质尺寸:0.06 mm
加工选择 沟槽,穿孔,盲孔,边缘阶梯段差加工,皆按客户需求规格进行

曲面镜(球面镜)


这些球面镜让照明系统内的紫外线光产生偏向并在同时转为平行射出。可透过高精密的抛光制程来调整不同的曲率半径。


材料 钠钙玻璃
尺寸 最大为 1100 mm x 1100 mm
厚度 12 mm(标准)- 其他厚度也可以提供
曲率半径 2800 mm(标准)- 其他曲率也可以提供
表面 经过光学级抛光的镜面品质
镀膜 铝镀膜加上石英的保护膜
针对紫外线光穿透进行强化(365 - 435 nm)

冷光镜


这些平面镜的功能是确保所需的紫光线光和红外线辐射(热)进行分光。藉由使用特殊介质镀膜优化紫外线光区段以及达到最大的热穿透,并在同一时间几近无耗损地的反射紫外线光。


材料 高耐热硼硅酸玻璃或是陶瓷玻璃
尺寸 最大为 700 mm x 700 mm
厚度 1 - 6 mm
表面 表面可作光学级抛光
镀膜 紫外线冷光介质镀膜
针对紫外线光穿透进行强化(365 - 435 nm)

平面反射镜


这些平面镜是设备进行双面曝光时的首选,因为如果需要的话,它们可以整合到光路中。使用一种针对紫外线优化的特殊铝镀膜层,几乎无耗损地反射紫外线光。


材料 钠钙玻璃或是耐热的硼硅酸玻璃
尺寸 最大为 850 mm x 750 mm
厚度 1 - 6 mm
表面 表面可作光学级抛光
镀膜 强化的铝反射层与石英表面保护膜层
针对紫外线光穿透进行强化(365 - 435 nm)

平行光凸透镜阵列(或称为 "fly eyes")


这些透镜阵列是经由耐高温的键合方式将多个单一透镜贴合在一起。在光学系统内他们的功能是使紫外线光穿透并均匀化。


材料 耐热石英玻璃
阵列结构组成 单一透镜组成阵列 - 如由 5x6 或 6x7 个单一透镜组成阵列
尺寸 标准长度为 50 到 100 mm
厚度 标准为 6 到 8 mm
表面 光学抛光
镀膜 介质(Dielectric)热隔绝镀膜
针对紫外线光穿透进行强化(365 - 435 nm)

热反射滤光片


这些滤光片可减少热辐射,使用于紫外线光系统的时机通常是不希望或是不能使用冷光镜时。产品具有高紫外线穿透的介质镀膜并可同时减少红外线辐射的穿透。这些滤光片较多应用在非平行光的曝光系统。


材料 耐热的硼硅酸玻璃
尺寸 最大为 700 mm x 700 mm
厚度 2 - 6 mm
表面 表面可作光学级抛光
镀膜 选择抗反射镀膜可增加穿透率