标准石英晶圆

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标准石英晶圆



合成制造的紫外级等级熔融石英,高纯度的非晶硅氧化硅,它在紫外线光,可见光,与近红外线光的波长区提供相当好的穿透性。热膨胀系数是非常低的。用这材料生产的晶圆几乎无气泡和无萤光。化学纯度等级相当高。


材料 合成熔融石英(紫外线等级)
主要特性 高纯度与紫外线穿透,无硷,无萤光
热膨胀系数(CTE) 0.55 x 10-6 K-1 (20..300 °C)
反射系数(nD 1.4586
电性
(@ 20 °C, 1 MHz)
dielectric constant: 3,75
dielectric loss factor: < 4 x 10-4
dielectric strength: 5 x 107 V/m
穿透率
(@ 1 mm 厚度)
> 90% (avg.) @ 200..260 nm
> 92% (abs.) @ 260..2000 nm
表面 双面抛光,SD / 20-10,根据 MIL-PRF-13830 标准
边缘加工 石英晶圆边缘做最佳化处理(根据 SEMI 标准)
边缘非品质区 6 mm
包装 无尘室等级 1000 包装; 25 片一盒

标准晶圆有常备库存可现货供应(购买前请先询问库存状况)。



产品编号 直径 (mm) 厚度 (µm) ttv (µm) SEMI flat
V015.04-1104 100.0 ±0.3 200 ± 10 < 10 32.5 mm
V015.04-1105 100.0 ±0.3 300 ± 10 < 10 32.5 mm
V015.04-1107 100.0 ±0.3 525 ± 10 < 10 32.5 mm
V015.04-1109 100.0 ±0.3 675 ± 10 < 10 32.5 mm
V015.04-1111 100.0 ±0.3 1000 ± 10 < 10 32.5 mm
V015.06-1104 150.0 ±0.3 200 ± 10 < 10 57.5 mm
V015.06-1105 150.0 ±0.3 300 ± 10 < 10 57.5 mm
V015.06-1107 150.0 ±0.3 525 ± 10 < 10 57.5 mm
V015.06-1109 150.0 ±0.3 675 ± 10 < 10 57.5 mm
V015.06-1111 150.0 ±0.3 1000 ± 10 < 10 57.5 mm
V015.08-1105 200.0 ±0.3 300 ± 10 < 10 Notch
V015.08-1107 200.0 ±0.3 525 ± 10 < 10 Notch
V015.08-1109 200.0 ±0.3 675 ± 10 < 10 Notch
V015.08-1111 200.0 ±0.3 1000 ± 10 < 10 Notch

除了上述标准晶片有现货供应外,Plan Optik 根据客户的规格生产客制化晶片(不同厚度,直径与规格)。



下载产品资料 (pdf 298 KB)