客制化石英晶圆

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客制化石英晶圆



除了Plan Optik现有的石英晶圆,Plan Optik 大规模使用高纯度石英玻璃生产石英晶圆(二氧化硅),与结晶石英不同的是使用非晶硅的石英玻璃。这些晶圆的特色是直径测量介于50到200mm的低厚度公差,高质量表面与低TTV值。

Plan Optik 所生产的石英晶圆是无碱与超纯度的基板,几乎无搀杂外来的异物。因此该产品在半导体科技被使用为镀膜或制程基板。典型的工业领域应用包括可制造RF射频模块,微流体和药品。

Plan Optik的石英晶圆可抗高温和几乎无荧光。

材料



A) Plan Optik 标准品及推荐类型

以下的材料适用于几乎所有的半导体,实验室,医学及光学应用。它提供了非常高的耐热性及低荧光。

深UV光学请参考B)。


材料 非结晶石英玻璃(二氧化硅)
主要特性 无碱
低荧光
低OH含量
耐高温
热系数  
软化温度
退热温度
张力温度
持续作用最高耐温
短期作用最高耐温
1710 °C
1220 °C
1125 °C
1160 °C
1300 °C
热传导系数
W/(m K))
20 °C: 1.38
100 °C: 1.47
200 °C: 1.55
300 °C: 1.67
400 °C: 1.84
950 °C: 2.68
热膨胀系数 (cte)
(10-6 K-1)
0..100 °C: 0.51
0..200 °C: 0.58
0..300 °C: 0.59
0..600 °C: 0.54
0..900 °C: 0.48
-50..0 °C: 0.27
特殊热能
(J/(kg K))
0..100 °C: 772
0..500 °C: 964
0..900 °C: 1052
物理特性  
硬度 (kg/m3)
莫氏硬度
努氏 (N/mm2)
弹性模量 (20 °C; MPa)
泊松比

2203
5.5..6.5
5800..6100
72500
0.17
电能数据  
电阻率
(Ω cm)
20 °C: 1.0 x 1018
400 °C: 1.0 x 1010
800 °C: 6.3 x 106
1200 °C: 1.3 x 105
介电强度
(KV/mm; 样品厚度 ≥ 5 mm)
20 °C: 25..40
500 °C: 4..5
介电损耗角 (tg δ) 1 KHz: 5.0 x 10-4
1 MHz: 1.0 x 10-4
3 x 1010 Hz: 4.0 x 10-4
介电常数 (ε) 20 °C; 0..106 Hz: 3.70
23 °C; 9x108 Hz: 3.77
23 °C; 3x1010 Hz: 3.81
化学数据
微量元素 (ppm)

Al Ca Cr Cu Fe K Li Mg Mn Na Ti Zr Oh
15 0.5 < 0.05 < 0.05 0.1 0.4 0.6 0.05 < 0.05 0.3 1.1 0.7 < 30


光学特性  
穿透率
(典型的; 样品厚度1mm; 包括菲涅尔反应损耗)
200 nm: 75%
250 nm: 87%
300..3500 nm: 92%

B) 光学材料类型

Plan Optik 可使用所有非晶硅的石英玻璃来生产各种尺寸的晶圆。包括雷射级以及深紫外线等级的材料。

欢迎您的洽询,我们会为您提供最适当的材料。


尺寸

Plan Optik 生产的石英玻璃晶圆包含以下尺寸:

圆形直径最长到 200 mm
矩形长度最长到 200 mm
厚度:介于 200 um (0.2 mm) 到 6 mm


表面质量

Plan Optik供应的石英晶圆可要求双面抛光亮面或是单面磨光单面雾面的表面。


雷射编码


Plan Optik 供应的石英晶圆可符合您所要求的字母数字雷射编码。QR code 也可以使用。


图形与表面结构

Plan Optik 在石英玻璃提供全方位的图形制程,如喷砂,钻孔,研磨,湿蚀刻等。 更多相关信息请浏览参阅"封装晶圆”。


镀膜

Plan Optik 供应的石英玻璃经元可任选各种涂层如抗反射(AR),铟锡氧化物(ITO)等。