微型透镜

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尺寸



Plan Optik 生产的晶圆级微型透镜的基础晶圆尺寸最大可到直径 8 吋(200 mm)。这些透镜并可透过切割的流程来变成其他较小的尺寸(单一透镜或透镜阵列)。

晶圆的对位平边,Notch 与直径可弹性调整来满足客户的需求。


晶圆直径 最高到 8 吋(200 mm)
晶圆厚度 / 透镜 0.2 mm - 3.0 mm
单一透镜高度 最高到 0.6 mm
单一透镜焦距长度 0.3 mm - 60 mm
单一透镜直径 最小 50 µm
数值孔径 0.02 到 0.32
光行差 最小 λ/2
边缘处理,包含对位平边与 Notch 依照 SEMI 标准中对于单晶硅晶圆的要求
或者依照客户需求(如无平边或无 Notch)

使用非接触式光学表面测量技术,可确保达到所需要的严格公差要求。