流量元件

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表面



Plan Optik 提供的流量元件可以选择有雾面或是抛光表面。表面纹理可以根据应用来选择(阳极键合,直接键合,湿蚀刻,需要疏水性或亲水性的表面等)。特殊的表面抛光技术如 Plan Optik 特别开发的 MDF(Micro Damage Free)抛光制程使 Plan Optik 的流量元件按需要可提供特别是到埃(Angström)等级的低表面粗糙度。


MDF 抛光


粗糙度 Ra < 0.5 nm
材料 玻璃与石英玻璃
应用 用于直接键合(熔融键合)与湿法蚀刻

标准抛光(亮面)


粗糙度 Ra < 1.5 nm
材料 玻璃与石英玻璃
应用 阳极键合与共晶键合

磨光表面(雾面)



粗糙度 Ra 最小 0.1 µm
材料 玻璃,石英玻璃,与硅
应用 使用于粘着制程

在晶圆表面有不同的表面品质混合是可行的,可按客户的需要来预先设定生产参数。