流量元件

首页 Pfeil 产品介绍 Pfeil 流量元件 Pfeil 材料 Pfeil

材料



Plan Optik 生产的流量元件使用可阳极键合的硼硅酸玻璃,无碱玻璃,石英玻璃和玻璃系复合材料。*


硼硅酸玻璃


种类 Borofloat 33 ®
厚度范围 100 - 3000 µm
热膨胀系数(CTE) 3.25 x 10-6 K-1(与硅相近)
折射系数(nD 1.4713
电性 Dielectric constant (25°C; 1 MHz): 4.6
Loss factor (25°C; 1 MHz): 37x10-4
主要特色 热膨胀系数与硅相近,
可用于阳极键合

熔融石英(Fused silica)


厚度范围 300 - 2000 µm
热膨胀系数(CTE) 0.5 x 10-6 K-1
折射系数(nD 1.4586
电性 Dielectric constant (20°C; 1 MHz): 3.75
Loss factor (20°C; 1 MHz): 4x10-4
主要特色 低 OH 值故可耐高温
在波长 270 nm 附近具有高紫外线穿透率

熔融石英(Fused silica)


厚度范围 300 - 2000 µm
热膨胀系数(CTE) 0.5 x 10-6 K-1
折射系数(nD 1.4584
电性 Dielectric constant (20°C; 1 MHz): 3.8
Loss factor (25°C; 1 MHz): 4x10-4
主要特色 在波长 200 nm 附近具有高紫外线穿透率


对于制造流量元件 Plan Optik 使用所有市面上生产的所有标准单晶硅硅晶圆,并按客户要求的规格来选择。

一般是使用 P-Bor <100> 硅晶圆于制造流体元件。


其他材料


Plan Optik 生产的流量元件可按客户需求使用知名制造厂生产的多种玻璃。



* 所有的技术资料是依据原材料制造商所提供的资讯,请以原材料制造厂商的资讯为主,不另行通知及不负担特性变更等相关责任。