流量元件

首页 Pfeil 产品介绍 Pfeil 流量元件 Pfeil 尺寸 Pfeil

尺寸



Plan Optik 生产流量元件是以直径 2 吋到 8 吋(200 mm)晶圆以及厚度从 150 µm 为基础来生产,每个晶圆加工的精确规格需求是按照客户的协议与预期的应用来决定。


直径 2" - 200 mm
厚度范围 150 - 3000 µm
总厚度变化(TTV) 最小 2 µm
边缘处理,包含对位平边与 Notch 依照 SEMI 标准中对于单晶硅晶圆的要求

Plan Optik 生产的流量元件的规格基础是经由与客户的紧密合作以及所计画的应用来制定。