载具晶圆

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表面



Plan Optik 供应的载具晶圆可要求表面抛光亮面或是磨光雾面的表面。表面品质可按所需的应用来选择。例如,磨光的雾面(从 80 µm 的粗糙度开始)可让半导体晶圆粘合媒介能够更均匀的分布。


标准抛光(亮面)


粗糙度 Ra < 1,5 nm
材料 适用于所有材料

磨光表面(雾面)



粗糙度 Ra 最小 0.1 µm
材料 适用于所有材料

在晶圆表面有不同的表面品质混合是可行的,可按客户的需要来预先设定生产参数。