标准硼硅酸玻璃晶圆

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标准硼硅酸玻璃晶圆


适用于微机电与光电产业



Plan Optik 标准晶圆可在短时间内从仓库出货(购买请先询问库存状况)。标准晶圆可选择一般的标准抛光 或者是高品质的 MDF 抛光加工。


材料 Borofloat 33 ®
热膨胀系数(CTE) 3.25 x 10-6 K-1(与硅相近)
折射系数(nD 1.4713
电性 Dielectric constant (25°C; 1 MHz): 4.6
Loss factor (25°C; 1 MHz): 37x10-4
Log electr. volume resistance: (250°C): 8.0 Ωcm
(350°C): 6.5 Ωcm
主要特色 热膨胀系数与硅相近,
可用于阳极键合
磨边 最佳化的晶圆玻璃边缘加工(根据 SEMI 标准)
边缘非品质区 6 mm
包装 无尘室等级1000环境下包装, 按照 Fed 209 规范
包装单位 25 片
最小订购量 1 个包装单位(25 片)


产品编号 直径 (mm) 厚度 (µm) ttv (µm) 抛光等级 SEMI flat/notch (mm)
V015.04-1002 100.0 ± 0.3 100 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-1003 100.0 ± 0.3 150 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-1004 100.0 ± 0.3 200 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-0005 100.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 MDF 32.5
V015.04-1005 100.0 ± 0.3 300 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-1006 100.0 ± 0.3 400 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-1007 100.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-1008 100.0 ± 0.3 600 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-1009 100.0 ± 0.3 700 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-1011 100.0 ± 0.3 1000 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.06-1002 150.0 ± 0.3 100 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-1003 150.0 ± 0.3 150 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-1004 150.0 ± 0.3 200 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-1005 150.0 ± 0.3 300 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-1006 150.0 ± 0.3 400 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-1007 150.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-0008 150.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 MDF 57.5
V015.06-1008 150.0 ± 0.3 600 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-1009 150.0 ± 0.3 700 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-1011 150.0 ± 0.3 1000 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.08-0004 200.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 MDF Notch
V015.08-1004 200.0 ± 0.3 200 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.08-1005 200.0 ± 0.3 300 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.08-1006 200.0 ± 0.3 400 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.08-1007 200.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.08-1008 200.0 ± 0.3 600 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.08-1009 200.0 ± 0.3 700 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.08-1011 200.0 ± 0.3 1000 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.12-0005 300.0 ± 0.2 775 ± 20 < 10 MDF Notch
V015.12-1006 300.0 ± 0.3 400 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.12-1007 300.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.12-1009 300.0 ± 0.3 700 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.12-1011 300.0 ± 0.3 1000 ± 10 < 10 Regular Notch


标准抛光(亮面)


适合所有标准应用,如与硅的阳极键合。
粗糙度 < 1.0 nm


MDF 抛光


特别适合用于化学湿制程的结构加工(不会造成表面小损伤)以及直接键合。
粗糙度 < 0.5 nm



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