客制化硼硅玻璃晶圆

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材料



Plan Optik 使用多种常用的玻璃来制造客制化晶圆。*


硼硅酸玻璃


种类 Borofloat 33 ®
厚度范围 100 - 3000 µm
热膨胀系数(CTE) 3.25 x 10-6 K-1(与硅相近)
折射系数(nD 1.4713
电性 Dielectric constant (25°C; 1 MHz): 4.6
Loss factor (25°C; 1 MHz): 37x10-4
主要特色 热膨胀系数与硅相近,
可用于阳极键合
种类 D263 ®
厚度范围 100 - 1000 µm
热膨胀系数(CTE) 7.2 x 10-6 K-1
折射系数(nD 1.523
电性 Dielectric constant (1 MHz): 6.7
Loss factor (1 MHz): 61x10-4
主要特色 高光学穿透

无碱玻璃



种类 Eagle XG ®
厚度范围 100 - 1000 µm
热膨胀系数(CTE) 3.17 x 10-6 K-1(与硅相近)
折射系数(nD 1.5099
电性 Dielectric constant (20°C; 1 KHz): 5.27
Loss factor (20°C; 1 KHz): 0.3 %
主要特色 热膨胀系数与硅相近,
低萤光


* 所有的技术资料是依据原材料制造商所提供的资讯,请以原材料制造厂商的资讯为主,不另行通知及不负担特性变更等相关责任。