玻璃矽 / 矽玻璃鍵合的晶圓

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表面



Plan Optik 供應的 GOS / SOG 晶圓可要求表面拋光亮面或是磨光霧面的表面。表面品質可按所需的應用來選擇(陽極鍵合,直接鍵合,濕蝕刻,需要疏水性或親水性的表面等)。Plan Optik 特別開發的 MDF(Micro Defect Free 零瑕疵表面)特殊拋光製程讓 Plan Optik 可以供應低表面粗糙度表面需求到埃(Angström)等級。


MDF 拋光


粗糙度 Ra < 0,5 nm
材料 可使用於 GOS 與 SOG 晶圓的玻璃面
應用 玻璃面可用於直接鍵合(熔融鍵合)與濕法蝕刻

標準拋光(亮面)


粗糙度 Ra < 1,5 nm
材料 可使用於玻璃與矽
應用 適合於陽極鍵合與晶鍵合

磨光表面(霧面)



粗糙度 Ra 最小 0.1 µm
材料 可使用於玻璃與矽
應用 使用於粘著製程

在晶圓表面有不同的表面品質混合是可行的,可按客戶的需要來預先設定生產參數。