標準石英晶圓

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標準石英晶圓



合成製造的紫外級等級熔融石英,高純度的非晶矽氧化矽,它在紫外線光,可見光,與近紅外線光的波長區提供相當好的穿透性。熱膨脹係數是非常低的。用這材料生產的晶圓幾乎無氣泡和無螢光。化學純度等級相當高。


材料 合成熔融石英(紫外線等級)
主要特性 高純度與紫外線穿透,無鹼,無螢光
熱膨脹係數(CTE) 0.55 x 10-6 K-1 (20..300 °C)
反射係數(nD 1.4586
電性
(@ 20 °C, 1 MHz)
dielectric constant: 3,75
dielectric loss factor: < 4 x 10-4
dielectric strength: 5 x 107 V/m
穿透率
(@ 1 mm 厚度)
> 90% (avg.) @ 200..260 nm
> 92% (abs.) @ 260..2000 nm
表面 雙面拋光,SD / 20-10,根據 MIL-PRF-13830 標準
邊緣加工 石英晶圓邊緣做最佳化處理(根據 SEMI 標準)
邊緣非品質區 6 mm
包裝 無塵室等級 1000 包裝; 25 片一盒

標準晶圓有常備庫存可現貨供應(購買前請先詢問庫存狀況)。



產品編號 直徑 (mm) 厚度 (µm) ttv (µm) SEMI flat
V015.04-1104 100.0 ±0.3 200 ± 10 < 10 32.5 mm
V015.04-1105 100.0 ±0.3 300 ± 10 < 10 32.5 mm
V015.04-1107 100.0 ±0.3 525 ± 10 < 10 32.5 mm
V015.04-1109 100.0 ±0.3 675 ± 10 < 10 32.5 mm
V015.04-1111 100.0 ±0.3 1000 ± 10 < 10 32.5 mm
V015.06-1104 150.0 ±0.3 200 ± 10 < 10 57.5 mm
V015.06-1105 150.0 ±0.3 300 ± 10 < 10 57.5 mm
V015.06-1107 150.0 ±0.3 525 ± 10 < 10 57.5 mm
V015.06-1109 150.0 ±0.3 675 ± 10 < 10 57.5 mm
V015.06-1111 150.0 ±0.3 1000 ± 10 < 10 57.5 mm
V015.08-1105 200.0 ±0.3 300 ± 10 < 10 Notch
V015.08-1107 200.0 ±0.3 525 ± 10 < 10 Notch
V015.08-1109 200.0 ±0.3 675 ± 10 < 10 Notch
V015.08-1111 200.0 ±0.3 1000 ± 10 < 10 Notch

除了上述標準晶片有現貨供應外,Plan Optik 根據客戶的規格生產客製化晶片(不同厚度,直徑與規格)。



下載產品資料 (pdf 298 KB)