客製化石英晶圓

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客製化石英晶圓



除了Plan Optik現有的石英晶圓,Plan Optik 大規模使用高純度石英玻璃生產石英晶圓(二氧化矽),與結晶石英不同的是使用非晶矽的石英玻璃。這些晶圓的特色是直徑測量介於50到200mm的低厚度公差,高品質表面與低TTV值。

Plan Optik 所生產的石英晶圓是無鹼與超純度的基板,幾乎無攙雜外來的異物。因此該產品在半導體科技被使用為鍍膜或製程基板。典型的工業領域應用包括可製造RF射頻模組,微流體和藥品。

Plan Optik的石英晶圓可抗高溫和幾乎無螢光。

材料



A) Plan Optik 標準品及推薦類型

以下的材料適用於幾乎所有的半導體,實驗室,醫學及光學應用。它提供了非常高的耐熱性及低螢光

深UV光學請參考B)。


材料 非結晶石英玻璃(二氧化矽)
主要特性 無鹼
低螢光
低OH含量
耐高溫
熱係數  
軟化溫度
退熱溫度
張力溫度
持續作用最高耐溫
短期作用最高耐溫
1710 °C
1220 °C
1125 °C
1160 °C
1300 °C
熱傳導係數
W/(m K))
20 °C: 1.38
100 °C: 1.47
200 °C: 1.55
300 °C: 1.67
400 °C: 1.84
950 °C: 2.68
熱膨脹係數 (cte)
(10-6 K-1)
0..100 °C: 0.51
0..200 °C: 0.58
0..300 °C: 0.59
0..600 °C: 0.54
0..900 °C: 0.48
-50..0 °C: 0.27
特殊熱能
(J/(kg K))
0..100 °C: 772
0..500 °C: 964
0..900 °C: 1052
物理特性  
硬度 (kg/m3)
莫氏硬度
努氏 (N/mm2)
彈性模量 (20 °C; MPa)
泊松比

2203
5.5..6.5
5800..6100
72500
0.17
電能數據  
電阻率
(Ω cm)
20 °C: 1.0 x 1018
400 °C: 1.0 x 1010
800 °C: 6.3 x 106
1200 °C: 1.3 x 105
介電強度
(KV/mm; 樣品厚度 ≥ 5 mm)
20 °C: 25..40
500 °C: 4..5
介電損耗角 (tg δ) 1 KHz: 5.0 x 10-4
1 MHz: 1.0 x 10-4
3 x 1010 Hz: 4.0 x 10-4
介電常數 (ε) 20 °C; 0..106 Hz: 3.70
23 °C; 9x108 Hz: 3.77
23 °C; 3x1010 Hz: 3.81
化學數據
微量元素 (ppm)

Al Ca Cr Cu Fe K Li Mg Mn Na Ti Zr Oh
15 0.5 < 0.05 < 0.05 0.1 0.4 0.6 0.05 < 0.05 0.3 1.1 0.7 < 30


光學特性  
穿透率
(典型的; 樣品厚度1mm; 包括菲涅爾反應損耗)
200 nm: 75%
250 nm: 87%
300..3500 nm: 92%

B) 光學材料類型

Plan Optik 可使用所有非晶矽的石英玻璃來生產各種尺寸的晶圓。包括雷射級以及深紫外線等級的材料。

歡迎您的洽詢,我們會為您提供最適當的材料。


尺寸

Plan Optik 生產的石英玻璃晶圓包含以下尺寸:

圓形直徑最長到 200 mm
矩形長度最長到 200 mm
厚度:介於 200 um (0.2 mm) 到 6 mm


表面品質

Plan Optik 供應的石英晶圓可要求雙面拋光亮面或是單面磨光單面霧面的表面。


雷射編碼


Plan Optik 供應的石英晶圓可符合您所要求的字母數字雷射編碼。QR code 也可以使用。


圖形與表面結構

Plan Optik 在石英玻璃提供全方位的圖形製程,如噴砂,鑽孔,研磨,濕蝕刻等。 更多相關資訊請瀏覽參閱"封裝晶圓”。


鍍膜

Plan Optik 供應的石英玻璃經元可任選各種塗層如抗反射(AR),銦錫氧化物(ITO)等。