微型透鏡

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尺寸



Plan Optik 生產的晶圓級微型透鏡的基礎晶圓尺寸最大可到直徑 8 吋(200 mm)。這些透鏡並可透過切割的流程來變成其他較小的尺寸(單一透鏡或透鏡陣列)。

晶圓的對位平邊,Notch 與直徑可彈性調整來滿足客戶的需求。


晶圓直徑 最高到 8 吋(200 mm)
晶圓厚度 / 透鏡 0.2 mm - 3.0 mm
單一透鏡高度 最高到 0.6 mm
單一透鏡焦距長度 0.3 mm - 60 mm
單一透鏡直徑 最小 50 µm
數值孔徑 0.02 到 0.32
光行差 最小 λ/2
邊緣處理,包含對位平邊與 Notch 依照 SEMI 標準中對於單晶矽晶圓的要求
或者依照客戶需求(如無平邊或無 Notch)

使用非接觸式光學表面測量技術,可確保達到所需要的嚴格公差要求。