流量元件

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表面



Plan Optik 提供的流量元件可以選擇有霧面或是拋光表面。表面紋理可以根據應用來選擇(陽極鍵合,直接鍵合,濕蝕刻,需要疏水性或親水性的表面等)。特殊的表面拋光技術如 Plan Optik 特別開發的 MDF(Micro Damage Free)拋光製程使 Plan Optik 的流量元件按需要可提供特別是到埃(Angström)等級的低表面粗糙度。


MDF 拋光


粗糙度 Ra < 0.5 nm
材料 玻璃與石英玻璃
應用 用於直接鍵合(熔融鍵合)與濕法蝕刻

標準拋光(亮面)


粗糙度 Ra < 1.5 nm
材料 玻璃與石英玻璃
應用 陽極鍵合與共晶鍵合

磨光表面(霧面)



粗糙度 Ra 最小 0.1 µm
材料 玻璃,石英玻璃,與矽
應用 使用於粘著製程

在晶圓表面有不同的表面品質混合是可行的,可按客戶的需要來預先設定生產參數。