流量元件

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材料



Plan Optik 生產的流量元件使用可陽極鍵合的硼矽酸玻璃,無鹼玻璃,石英玻璃和玻璃系複合材料。*


硼矽酸玻璃


種類 Borofloat 33 ®
厚度範圍 100 - 3000 µm
熱膨脹係數(CTE) 3.25 x 10-6 K-1(與矽相近)
折射係數(nD 1.4713
電性 Dielectric constant (25°C; 1 MHz): 4.6
Loss factor (25°C; 1 MHz): 37x10-4
主要特色 熱膨脹係數與矽相近,
可用於陽極鍵合

熔凝石英(Fused quartz)


厚度範圍 300 - 2000 µm
熱膨脹係數(CTE) 0.5 x 10-6 K-1
折射係數(nD 1.4586
電性 Dielectric constant (20°C; 1 MHz): 3.75
Loss factor (20°C; 1 MHz): 4x10-4
主要特色 低 OH 值故可耐高溫
在波長 270 nm 附近具有高紫外線穿透率

熔融石英(Fused silica)


厚度範圍 300 - 2000 µm
熱膨脹係數(CTE) 0.5 x 10-6 K-1
折射係數(nD 1.4584
電性 Dielectric constant (20°C; 1 MHz): 3.8
Loss factor (25°C; 1 MHz): 4x10-4
主要特色 在波長 200 nm 附近具有高紫外線穿透率


對於製造流量元件 Plan Optik 使用所有市面上生產的所有標準單晶矽矽晶圓,並按客戶要求的規格來選擇。

一般是使用 P-Bor <100> 矽晶圓於製造流體元件。


其他材料


Plan Optik 生產的流量元件可按客戶需求使用知名製造廠生產的多種玻璃。



* 所有的技術資料是依據原材料製造商所提供的資訊,請以原材料製造廠商的資訊為主,不另行通知及不負擔特性變更等相關責任。