流量元件

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尺寸



Plan Optik 生產流量元件是以直徑 2 吋到 8 吋(200 mm)晶圓以及厚度從 150 µm 為基礎來生產,每個晶圓加工的精確規格需求是按照客戶的協議與預期的應用來決定。


直徑 2" - 200 mm
厚度範圍 150 - 3000 µm
總厚度變化(TTV) 最小 2 µm
邊緣處理,包含對位平邊與 Notch 依照 SEMI 標準中對於單晶矽晶圓的要求

Plan Optik 生產的流量元件的規格基礎是經由與客戶的緊密合作以及所計畫的應用來制定。