流量元件

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鍵合技術



Plan Optik 的流量元件是由組合不同材料來製造,按照所需的應用採用適合的鍵合流程。


陽極鍵合


硼矽酸玻璃與矽鍵合。永久性,耐高溫,密封鍵合,不需使用輔助材料。


直接鍵合


將不同種類的玻璃鍵合或是與矽鍵合。永久性,耐高溫,密封鍵合,不需使用輔助材料。


粘合製程


可按不同應用所使用的材質來鍵合所有晶圓材料以及具有永久性與可逆性的粘接。


共晶鍵合


採用金屬合金材料來鍵合所有晶圓材質,例如鈦金。