載具晶圓

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表面



Plan Optik 供應的載具晶圓可要求表面拋光亮面或是磨光霧面的表面。表面品質可按所需的應用來選擇。例如,磨光的霧面(從 80 µm 的粗糙度開始)可讓半導體晶圓粘合媒介能夠更均勻的分佈。


標準拋光(亮面)


粗糙度 Ra < 1,5 nm
材料 適用於所有材料

磨光表面(霧面)



粗糙度 Ra 最小 0.1 µm
材料 適用於所有材料

在晶圓表面有不同的表面品質混合是可行的,可按客戶的需要來預先設定生產參數。