標準硼矽酸玻璃晶圓

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標準硼矽酸玻璃晶圓


適用於微機電與光電產業



Plan Optik 標準晶圓可在短時間內從倉庫出貨(購買請先詢問庫存狀況)。標準晶圓可選擇一般的標準拋光 或者是高品質的 MDF 拋光加工。


材料 Borofloat 33 ®
熱膨脹係數(CTE) 3.25 x 10-6 K-1(與矽相近)
折射係數(nD 1.4713
電性 Dielectric constant (25°C; 1 MHz): 4.6
Loss factor (25°C; 1 MHz): 37x10-4
Log electr. volume resistance: (250°C): 8.0 Ωcm
(350°C): 6.5 Ωcm
主要特色 熱膨脹係數與矽相近,
可用於陽極鍵合
磨邊 最佳化的晶圓玻璃邊緣加工(根據 SEMI 標準)
邊緣非品質區 6 mm
包裝 無塵室等級1000環境下包裝, 按照 Fed 209 規範
包裝單位 25 片
最小訂購量 1 個包裝單位(25 片)


產品編號 直徑 (mm) 厚度 (µm) ttv (µm) 拋光等級 SEMI flat/notch (mm)
V015.04-1002 100.0 ± 0.3 100 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-1003 100.0 ± 0.3 150 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-1004 100.0 ± 0.3 200 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-0005 100.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 MDF 32.5
V015.04-1005 100.0 ± 0.3 300 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-1006 100.0 ± 0.3 400 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-1007 100.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-1008 100.0 ± 0.3 600 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-1009 100.0 ± 0.3 700 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.04-1011 100.0 ± 0.3 1000 ± 10 < 10 Regular 32.5
V015.06-1002 150.0 ± 0.3 100 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-1003 150.0 ± 0.3 150 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-1004 150.0 ± 0.3 200 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-1005 150.0 ± 0.3 300 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-1006 150.0 ± 0.3 400 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-1007 150.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-0008 150.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 MDF 57.5
V015.06-1008 150.0 ± 0.3 600 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-1009 150.0 ± 0.3 700 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.06-1011 150.0 ± 0.3 1000 ± 10 < 10 Regular 57.5
V015.08-0004 200.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 MDF Notch
V015.08-1004 200.0 ± 0.3 200 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.08-1005 200.0 ± 0.3 300 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.08-1006 200.0 ± 0.3 400 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.08-1007 200.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.08-1008 200.0 ± 0.3 600 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.08-1009 200.0 ± 0.3 700 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.08-1011 200.0 ± 0.3 1000 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.12-0005 300.0 ± 0.2 775 ± 20 < 10 MDF Notch
V015.12-1006 300.0 ± 0.3 400 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.12-1007 300.0 ± 0.3 500 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.12-1009 300.0 ± 0.3 700 ± 10 < 10 Regular Notch
V015.12-1011 300.0 ± 0.3 1000 ± 10 < 10 Regular Notch


標準拋光(亮面)


適合所有標準應用,如與矽的陽極鍵合。
粗糙度 < 1.0 nm


MDF 拋光


特別適合用於化學濕製程的結構加工(不會造成表面小損傷)以及直接鍵合。
粗糙度 < 0.5 nm



下載產品資料 (pdf 692 KB)