客製化硼硅玻璃晶圓

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材料



Plan Optik 使用多種常用的玻璃來製造客製化晶圓。*


硼矽酸玻璃


種類 Borofloat 33 ®
厚度範圍 100 - 3000 µm
熱膨脹係數(CTE) 3.25 x 10-6 K-1(與矽相近)
折射係數(nD 1.4713
電性 Dielectric constant (25°C; 1 MHz): 4.6
Loss factor (25°C; 1 MHz): 37x10-4
主要特色 熱膨脹係數與矽相近,
可用於陽極鍵合
種類 D263 ®
厚度範圍 100 - 1000 µm
熱膨脹係數(CTE) 7.2 x 10-6 K-1
折射係數(nD 1.523
電性 Dielectric constant (1 MHz): 6.7
Loss factor (1 MHz): 61x10-4
主要特色 高光學穿透

無鹼玻璃



種類 Eagle XG ®
厚度範圍 100 - 1000 µm
熱膨脹係數(CTE) 3.17 x 10-6 K-1(與矽相近)
折射係數(nD 1.5099
電性 Dielectric constant (20°C; 1 KHz): 5.27
Loss factor (20°C; 1 KHz): 0.3 %
主要特色 熱膨脹係數與矽相近,
低螢光


* 所有的技術資料是依據原材料製造商所提供的資訊,請以原材料製造廠商的資訊為主,不另行通知及不負擔特性變更等相關責任。